[发明专利]自清洁柔性导电线路的制备方法及具有其的柔性设备有效
申请号: | 201811516498.1 | 申请日: | 2018-12-12 |
公开(公告)号: | CN109561597B | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
发明(设计)人: | 冯雪;杜琦峰;陈颖 | 申请(专利权)人: | 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学 |
主分类号: | H05K3/12 | 分类号: | H05K3/12 |
代理公司: | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人: | 李萌 |
地址: | 314000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 清洁 柔性 导电 线路 制备 方法 具有 设备 | ||
1.自清洁柔性导电线路的制备方法,其特征在于:该方法包括如下步骤:
对柔性高分子薄膜表面进行处理,得到既能够与硅烷偶联剂反应又具有亲水性的官能团,在该步骤中通过等离子体处理的方式对所述柔性高分子薄膜进行表面处理,以使所述柔性高分子薄膜表面形成能够与硅烷偶联剂反应的官能团,所述等离子体包括Ar、H2或N2,其处理时间为10s-15min;
将处理后的所述柔性高分子薄膜与硅烷偶联剂进行反应,在所述柔性高分子薄膜上形成疏水层;
在所述疏水层上刻蚀线路图案,以去除所述柔性高分子薄膜上的疏水层,使所述线路图案的表面具有亲水性,在该步骤中通过等离子刻蚀的方式在所述疏水层上刻蚀线路图案,以使所述线路图案的表面具有亲水性,等离子刻蚀应用的等离子包括O2、NO及NO2的一种或多种,其刻蚀时间为5min-30min;
使所述线路图案填充有导电液;
对填充有所述导电液的线路图案进行干燥。
2.如权利要求1所述的自清洁柔性导电线路的制备方法,其特征在于:柔性高分子薄膜的制成材料包括聚酰亚胺(PI)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)及聚对苯二甲酸丁二醇酯(PBT)中的一种或多种。
3.如权利要求1所述的自清洁柔性导电线路的制备方法,其特征在于:将经过表面处理的所述柔性高分子薄膜与硅烷偶联剂进行反应后,对与硅烷偶联剂进行反应后的所述柔性高分子薄膜进行干燥处理。
4.如权利要求1所述的自清洁柔性导电线路的制备方法,其特征在于:所述疏水层的水接触角大于150°,滚动角小于10°。
5.如权利要求1所述的自清洁柔性导电线路的制备方法,其特征在于:所述线路图案的表面的水接触角小于10°。
6.如权利要求1所述的自清洁柔性导电线路的制备方法,其特征在于:所述导电液包括导电墨水、液态金属和导电浆料中的一种或多种。
7.如权利要求6所述的自清洁柔性导电线路的制备方法,其特征在于:将所述导电液通过喷洒的方式填充于所述线路图案中。
8.如权利要求6所述的自清洁柔性导电线路的制备方法,其特征在于:将所述柔性高分子薄膜浸入所述导电液中,以使所述导电液填充于所述线路图案内。
9.柔性设备,其特征在于:包括自清洁柔性导电线路,自清洁柔性导电线路由权利要求1至8中任意一项所述的自清洁柔性导电线路的制备方法制作而成。
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