[发明专利]电加热设备固态纯净物卧式侧面收集方法

权利要求书

1.一种电加热设备固态纯净物卧式侧面收集方法，其特征在于：采用卧式电加热设备，先通过卧式电加热设备对固态纯净物进行加热，使得固态纯净物在卧式电加热设备内加热蒸发升华，再通过热扩散方式使得升华的固态纯净物从卧式电加热设备的侧面运动到收集系统装置内，并在收集系统装置内通过冷凝方式还原成固体固态纯净物，达到从侧面收集升华的固态纯净物的目的。

2.如权利要求1所述的电加热设备固态纯净物卧式侧面收集方法，其特征在于：所述的通过卧式电加热设备对固态纯净物进行加热是在卧式电加热设备设置石墨坩埚，将固态纯净物原料放入石墨坩埚内，通过电加热使得放入石墨坩埚内的固态纯净物加热到所确定的固态纯净物升华温度，使得固态纯净物在石墨坩埚内气化升华。

3.如权利要求2所述的电加热设备固态纯净物卧式侧面收集方法，其特征在于：所述的固态纯净物在石墨坩埚内气化升华是在真空环境下进行的，通过真空系统使得卧式电加热设备中，石墨坩埚内的固态纯净物原料处于真空状态，帮助固态纯净物原料在卧式电加热设备加热时气化升华。

4.如权利要求3所述的电加热设备固态纯净物卧式侧面收集方法，其特征在于：所述的真空状态是将卧式电加热设备与收集系统装置封闭起来，使得卧式电加热设备与收集系统装置的内腔处于密闭状态，并在卧式电加热设备或收集系统装置的外壳上连接抽真空系统，通过抽真空系统维持卧式电加热设备与收集系统装置的内腔处于真空状态。

5.如权利要求1所述的电加热设备固态纯净物卧式侧面收集方法，其特征在于：所述的通过热扩散方式使得升华的固态纯净物从卧式电加热设备的侧面运动到收集系统装置内是将卧式电加热设备与收集系统装置设置成两个不同温度的区域，其中收集系统装置设置内的温度低于卧式电加热设备内的温度；在固态纯净物在石墨坩埚内气化升华后，利用卧式电加热设备与收集装置之间的温度差，使得气体固态纯净物由卧式电加热设备的侧面流动扩散到温度低的收集装置内，并在进入收集装置顺速冷凝还原成固体粉末颗粒。

6.如权利要求3所述的电加热设备固态纯净物卧式侧面收集方法，其特征在于：所述的通过热扩散方式使得升华的固态纯净物从卧式电加热设备的侧面运动到收集系统装置内是从卧式电加热设备的坩埚内升华的固态纯净物原料在升华后，从坩埚中以气态方式逸出，通过坩埚的上空往卧式电加热设备的单侧或双侧侧向流动，进入设置在卧式电加热设备侧面的收集装置内。

7.如权利要求1所述的电加热设备固态纯净物卧式侧面收集方法，其特征在于：所述的从侧面收集升华的固态纯净物是在卧式电加热设备的单侧或双侧侧面连接收集装置，待气化升华后的气化固态纯净物流入收集系统装置后，迅速通过冷凝的方式使得气体固态纯净物再次变为固体，从而达到侧面收集升华的固态纯净物的目的。

8.如权利要求1所述的电加热设备固态纯净物卧式侧面收集方法，其特征在于：所述的在收集系统装置内通过冷凝方式还原成固体固态纯净物是在卧式电加热设备的电加热腔体端部侧面入口处设置与电加热腔体的截面形状相配的收集系统装置，收集系统装置的内腔体与卧式电加热设备的电加热腔体相通，并让收集系统装置内的温度维持在固态纯净物升华温度以下，使得收集系统装置的内腔体的温度与卧式电加热设备的电加热腔体的温度形成温度差；当固态纯净物在坩埚内被电加热升华以后，将根据扩散原理，由高温往低温去进行扩散，从卧式电加热设备的电加热腔体的上空流入到收集系统装置的内腔体内，且由于控制收集系统装置的内腔体的温度低于固态纯净物升华的温度，当升华后的气化固态纯净物流入收集系统装置的内腔体时，将被还原成固态物质，并落入在收集系统装置的内腔体内，达到侧面收集的目的。