[发明专利]晶圆盒放置架及晶圆存储柜

权利要求书

1.一种晶圆盒放置架，其特征在于，包括：

固定架，所述固定架上设置有至少一个晶圆盒放置区域；

用于放置晶圆盒的防摩擦导轨，设置于所述晶圆盒放置区域上，所述防摩擦导轨的上表面呈斜坡面，所述斜坡面自所述防摩擦导轨的前端至后端向下倾斜，所述防摩擦导轨呈镂空状；各所述晶圆盒放置区域上均平行设置有两个间隔排布的所述防摩擦导轨，同一所述晶圆盒放置区域的两个所述防摩擦导轨外侧的距离不大于放置的所述晶圆盒的横向尺寸，晶圆盒放置在所述晶圆盒放置架上时仅与所述防摩擦导轨直接接触。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒放置架，其特征在于：所述晶圆盒放置架还包括多个固定杆，多个所述固定杆在所述固定架上平行均匀间隔排布，所述防摩擦导轨位于至少一个所述固定杆上。

3.根据权利要求1所述的晶圆盒放置架，其特征在于：所述固定架包括多排上下依次间隔分布的支架，每排支架上设置有多个所述晶圆盒放置区域，每个所述晶圆盒放置区域上均对应设置有所述防摩擦导轨。

4.根据权利要求1所述的晶圆盒放置架，其特征在于：同一所述晶圆盒放置区域的两个所述防摩擦导轨外侧的距离与所述晶圆盒的横向尺寸相等且两个所述防摩擦导轨相互远离的侧面均设置有限位挡板。

5.根据权利要求1所述的晶圆盒放置架，其特征在于：所述斜坡面两端的最大高度差介于15～25mm之间，所述斜坡面宽度介于50～60mm之间；所述防摩擦导轨的后端还设有阻挡部，所述阻挡部的上表面高于所述斜坡面与其相邻接处上表面的高度。

6.根据权利要求1所述的晶圆盒放置架，其特征在于：所述晶圆盒放置架还包括角码及螺丝，所述防摩擦导轨通过所述角码和所述螺丝的铰接固定于所述固定架上。

7.根据权利要求1至6任一项所述的晶圆盒放置架，其特征在于：所述防摩擦导轨的材料包括POM塑料。

8.一种晶圆存储柜，其特征在于，包括：

如权利要求1至7任一项所述的晶圆盒放置架；

柜体，所述晶圆盒放置架位于所述柜体内。

9.根据权利要求8所述的晶圆存储柜，其特征在于：所述晶圆存储柜还包括清洁管路，所述清洁管路一端连接至一清洁气体源，另一端连接至所述晶圆盒放置架。