[发明专利]一种晶圆夹持机械手臂组件

权利要求书

1.一种晶圆夹持机械手臂组件，其特征在于，包括：

机械手臂本体，所述机械手臂本体中形成有通孔；

衬垫，所述衬垫设置于所述机械手臂本体上，所述衬垫的底部形成有凹槽，且所述凹槽与所述通孔对应设置；

紧固部件，所述紧固部件穿过所述通孔并插入至所述凹槽内，以将所述衬垫固定于所述机械手臂本体上。

2.根据权利要求1所述的晶圆夹持机械手臂组件，其特征在于：所述衬垫包括第一衬垫和第二衬垫，所述机械手臂本体包括一主体部以及两叉臂部，所述主体部设有夹具，所述第一衬垫设置于所述主体部，所述第二衬垫设置于所述叉臂部。

3.根据权利要求2所述的晶圆夹持机械手臂组件，其特征在于：所述第一衬垫的上表面包含朝一侧面向上倾斜的斜面，所述第二衬垫上表面包含朝一侧面向上倾斜的斜面，且所述第二衬垫的所述侧面上具有挡板。

4.根据权利要求3所述的晶圆夹持机械手臂组件，其特征在于：所述第二衬垫的所述上表面与所述挡板之间的夹角为圆角。

5.根据权利要求3所述的晶圆夹持机械手臂组件，其特征在于：所述第一衬垫、所述第二衬垫位于晶圆下方边缘处，以承载所述晶圆，所述第一衬垫、所述第二衬垫的所述侧面与所述晶圆半径垂直，所述第一衬垫、所述第二衬垫的所述侧面位于远离所述圆心一侧，所述挡板与所述晶圆相切，以阻挡所述晶圆。

6.根据权利要求1所述的晶圆夹持机械手臂组件，其特征在于：所述通孔侧壁和所述凹槽侧壁具有螺纹结构，所述紧固部件的种类包括螺丝。

7.根据权利要求1所述的晶圆夹持机械手臂组件，其特征在于：一个所述衬垫具有至少2个所述凹槽，所述紧固部件、所述通孔和所述凹槽一一对应。

8.根据权利要求1所述的晶圆夹持机械手臂组件，其特征在于：所述机械手臂本体与所述衬垫之间包含粘合剂，以提高所述衬垫与所述机械手臂本体的固定强度。