[发明专利]OLED点源及线源的真空高温清洁装置在审
申请号: | 201811523646.2 | 申请日: | 2018-12-13 |
公开(公告)号: | CN111326436A | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 唐军 | 申请(专利权)人: | 湖北浚山光电有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L51/56 |
代理公司: | 黄石市三益专利商标事务所 42109 | 代理人: | 饶卓识 |
地址: | 435000 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | oled 真空 高温 清洁 装置 | ||
本发明涉及OLED点源及线源的真空高温清洁装置,具有箱体,箱体上部设有真空腔,下部设有抽真空组件和电控箱,抽真空组件与真空腔连接,真空腔的前端设有门框,箱体上部前端设有与真空腔前端门框相匹配的真空腔门,真空腔门上设有密封圈,所述门框四周或真空腔门四周或门框和真空腔门四周设有一圈冷却水套,冷却水套的进出口与外部冷却水源连通,真空腔门与箱体活动连接,真空腔内壁上设有加热组件,电控箱与抽真空组件和加热组件连接;本发明结构设计简单新颖,操作方便,使用效果好,能保证加热温度和真空度,提高产品质量。
技术领域
本发明涉及真空高温清洁设备技术领域,尤其是OLED点源及线源的真空高温清洁装置。
背景技术
有机电致发光器件,具有自发光、反应时间快、视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点,被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术,在OLED(organle Light-Emitting Diode,有机电致发光二极管)技术中,点源及线源需真空高温清洁,目前使用的真空高温烘烤炉不能适应300度以上的高温,因为当温度升到300度以上时,真空腔门上的密封圈易烤坏,不能保证真空腔内的真空度和温度。
发明内容
本发明的目的就是针对现有真空高温烘烤装置作出改进,提供一种结构设计简单,使用方便,能保证加热温度和真空度的OLED点源及线源的真空高温清洁装置。
本发明的具体方案是:OLED点源及线源的真空高温清洁装置,其特征在于:具有箱体,箱体上部设有真空腔,下部设有抽真空组件和电控箱,抽真空组件与真空腔连接,真空腔的前端设有门框,箱体上部前端设有与真空腔前端门框相匹配的真空腔门,真空腔门上设有密封圈,所述门框四周或真空腔门四周或门框和真空腔门四周设有一圈冷却水套,冷却水套的进出口与外部冷却水源连通,真空腔门与箱体活动连接,真空腔内壁上设有加热组件,电控箱与抽真空组件和加热组件连接。
所述真空腔门与箱体活动连接是采用活动支架转动连接,活动支架包括一根竖杆和两根横杆构成,竖杆的两端与箱体铰链,两横杆分别与真空腔门的上下两端铰链。
本发明结构设计简单新颖,操作方便,使用效果好,能保证加热温度和真空度,提高产品质量。
附图说明
图1是本发明的主剖视图;
图2是图1的I处放大图;
图3是图1的侧视图。
图中:1—箱体,2—真空腔,3—抽真空组件,4—电控箱,5—门框,6—真空腔门,7—密封圈,8—冷却水套,9—加热组件,10-竖杆,11-横杆。
具体实施方式
参见图1-3,本发明是OLED点源及线源的真空高温清洁装置,具有箱体1,箱体上部设有真空腔2,下部设有抽真空组件3和电控箱4,抽真空组件与真空腔连接,真空腔的前端设有门框5,箱体上部前端设有与真空腔前端门框相匹配的真空腔门6,真空腔门上设有密封圈7,所述门框四周或真空腔门四周或门框和真空腔门四周设有一圈冷却水套8,冷却水套的进出口与外部冷却水源连通,真空腔门与箱体活动连接,真空腔内壁上设有加热组件9,电控箱与抽真空组件和加热组件连接;所述真空腔门与箱体活动连接是采用活动支架转动连接,活动支架包括一根竖杆10和两根横杆11构成,竖杆的两端与箱体铰链,两横杆分别与真空腔门的上下两端铰链。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造