[发明专利]一种用于金属掩膜板清洗系统的脱水槽

说明书

本发明涉及金属掩膜板清洗技术领域，具体是一种用于金属掩膜板清洗系统的脱水槽，包括一个上端开口的矩形槽体，其特征是：槽体一侧壁外侧装有一根竖直的抽风管，抽风管下端装有引风机，抽风管顶端装有一根与抽风管连通的引风管，引风管向脱水槽前端的清洗槽方向延伸，引风管上设有若干个风孔；抽风管上装有两根穿入脱水槽槽体内的脱水管，其中一根位于脱水槽上端，另一根位于脱水槽下端；本发明脱水时可同时抽出清洗槽的气体，适用于对现有脱水槽的改进。

技术领域

本发明涉及金属掩膜板清洗技术领域，具体是一种用于金属掩膜板清洗系统的脱水槽。

背景技术

有机电致发光器件，具有自发光、反应时间快、视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点，被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。在OLED（Organic Light-Emitting Diode，有机电发光二极管）技术中，用于真空蒸镀的掩膜板是一项非常重要和关键的部件，该部件的质量直接影响OLED产品的质量和制造成本。

掩膜板（Mask），特别是细小网格的掩膜板（Fine Mask），在初加工成型后，会在网格内或表面残留金属边角料等颗粒物质，影响掩膜板的正常使用。在循环使用的过程中，掩膜板上会沾上有机发光材料等杂质，这些杂质将影响掩膜板的精度或正常使用，在将掩膜板再次投入使用前必须清除。

目前用于清洗金属掩膜板的清洗系统包括若干个并排布置的清洗槽，清洗系统的尾端设有脱水槽用于干燥金属掩膜板，现有的脱水槽功能单一，仅对脱水槽单个槽体作用。

发明内容

本发明的目的就是为了解决现有的脱水槽功能单一，仅对脱水槽单个槽体作用的问题，提供一种用于金属掩膜板清洗系统的脱水槽。

本发明的具体方案是：一种用于金属掩膜板清洗系统的脱水槽，包括一个上端开口的矩形槽体，槽体一侧壁外侧装有一根竖直的抽风管，抽风管下端装有引风机，抽风管顶端装有一根与抽风管连通的引风管，引风管向脱水槽前端的清洗槽方向延伸，引风管上设有若干个风孔；抽风管上装有两根穿入脱水槽槽体内的脱水管，其中一根位于脱水槽上端，另一根位于脱水槽下端。

本发明所述抽风管底端装有埋入地下且引出外部的排气管。

本发明所述槽体两侧壁上装有向清洗系统外部延伸的支撑壁，每个支撑壁上装有用于将装载金属掩膜板的吊具向清洗系统外输送的输送装置。

本发明输送输送装置包括固定安装在支撑壁上的水平的支撑梁，支撑壁外端装有传动齿轮，支撑壁内端或槽体侧壁上装有驱动齿轮，驱动齿轮上装有减速电机，驱动齿轮与传动齿轮上绕装有一根循环的链条，链条位于支撑梁上方的部分固定装有一块沿支撑梁滑动的滑板，滑板顶部装有用于承托吊具的支撑块。

本发明所述支撑壁外端装有接近开关，接近开关与减速电机电气连接，滑板或支撑块移动到接近开关处时减速电机停机。

本发明工作原理如下：脱水工作时，引风机开启将脱水槽内的空气向外抽出达到风干的目的，抽风管顶部水平的引风管可同时将前端清洗槽中产生的气体向外抽；输送装置的工作原理如下：脱水干燥完毕后，机械手将吊具吊出脱水槽放置在支撑块上，减速电机动作使滑板向清洗系统外移动将吊具送出，当滑板或支撑块移动到接近开关处时减速电机停机。

本发明相比现有技术具有以下优点：1、在脱水槽干燥同时可将前端清洗槽的气体抽出；2、脱水槽两侧装有输送装置可将吊具送出清洗系统，自动化程度更高，提高了工作效率。

附图说明

图1是本发明的立体视图；

图2是图1的主视图；

图中：1-支撑壁，2-槽体，3-接近开关，4-传动齿轮，5-滑板，6-支撑块，7-支撑梁，8-引风机，9-抽风管，10-脱水管，11-减速电机，12-引风管，13-风孔,14-排气管。