[发明专利]一种用于金属掩膜板清洗系统的酒精清洗槽在审
申请号: | 201811523717.9 | 申请日: | 2018-12-13 |
公开(公告)号: | CN111318508A | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 唐军 | 申请(专利权)人: | 湖北浚山光电有限公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B3/14;B08B13/00;C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 黄石市三益专利商标事务所 42109 | 代理人: | 饶卓识 |
地址: | 435000 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 金属 掩膜板 清洗 系统 酒精 | ||
本发明涉及金属掩膜板清洗技术领域,具体是一种用于金属掩膜板清洗系统的酒精清洗槽,包括一个上端开口的矩形槽体,槽体侧壁上装有进水管,槽体底部装有出水管,槽体顶部装有两条平行的轨道,轨道上装有一块沿轨道滑动的盖板,盖板宽度与槽体相匹配,盖板一侧固定装有一块支板,支板上装有用于开启和关闭盖板的驱动机构;本发明极大地减少了酒精的挥发,适用于对现有酒精清洗槽的改进。
技术领域
本发明涉及金属掩膜板清洗技术领域,具体是一种用于金属掩膜板清洗系统的酒精清洗槽。
背景技术
有机电致发光器件,具有自发光、反应时间快、视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点,被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。在OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机电发光二极管)技术中,用于真空蒸镀的掩膜板是一项非常重要和关键的部件,该部件的质量直接影响OLED产品的质量和制造成本。
掩膜板(Mask),特别是细小网格的掩膜板(Fine Mask),在初加工成型后,会在网格内或表面残留金属边角料等颗粒物质,影响掩膜板的正常使用。在循环使用的过程中,掩膜板上会沾上有机发光材料等杂质,这些杂质将影响掩膜板的精度或正常使用,在将掩膜板再次投入使用前必须清除。
目前用于清洗金属掩膜板的清洗系统包括若干个清洗槽,其中包括酒精清洗槽,酒精是易挥发物质,运行时间长了之后挥发较多,造成一定的浪费,同时由于留在槽体内的酒精减少可能影响清洗质量。
发明内容
本发明的目的就是为了解决目前用于清洗金属掩膜板的清洗系统包括若干个清洗槽,其中包括酒精清洗槽,酒精是易挥发物质,运行时间长了之后挥发较多,造成一定的浪费,同时由于留在槽体内的酒精减少可能影响清洗质量的问题,提供一种用于金属掩膜板清洗系统的酒精清洗槽 。
本发明的具体方案是:一种用于金属掩膜板清洗系统的酒精清洗槽,包括一个上端开口的矩形槽体,槽体侧壁上装有进水管,槽体底部装有出水管,槽体顶部装有两条平行的轨道,轨道上装有一块沿轨道滑动的盖板,盖板宽度与槽体相匹配,盖板一侧固定装有一块支板,支板上装有用于开启和关闭盖板的驱动机构。
本发明所述驱动机构包括安装在槽体一侧的支架,支架上装有减速电机,减速电机输出端装有驱动齿轮,槽体另一侧装有从动齿轮,驱动齿轮和从动齿轮上绕装有一根循环的链条,所述支板与链条固定连接。
本发明酒精清洗槽还包括制冷系统,制冷系统包括压缩机、冷凝器、蒸发盘管,蒸发盘管安装在槽体内壁,压缩机的排气管与冷凝器进气管连接,压缩机的进气管与蒸发盘管的一端连接,冷凝器的出气管与蒸发盘管的另一端连接。
本发明所述槽体侧壁上装有过滤器,过滤器的进水管安装在槽体上端,过滤器的出水管安装在槽体下端。
本发明工作原理如下:当清洗机的机械手将装有金属掩膜板的载具移送到酒精槽上方时,系统控制驱动机构启动将盖板滑开,机械手再将载具放入酒精清洗槽内;清洗完成后,系统控制驱动机构反向运转将盖板关闭,减少酒精挥发。
本发明相比现有技术具有以下优点:1、通过设置盖板极大地减少了酒精的挥发,减少了浪费;2、设置制冷系统,当环境温度较高时通过制冷系统给酒精降温,减少挥发;3、设置过滤器提高了酒精清洁度。
附图说明
图1是本发明的立体视图;
图2是图1的主视图;
图3是图2的A-A视图;
图中:1-槽体,2-轨道,3-盖板,4-支板,5-驱动机构,51-从动齿轮,52-链条,53-减速电机,6-支架,7-过滤器,8-出水管,9-压缩机,10-冷凝器,11-蒸发盘管,12-进水管。
具体实施方式
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