[发明专利]一种用于金属掩膜板清洗系统的机械手

权利要求书

1.一种用于金属掩膜板清洗系统的机械手，包括安装在清洗系统纵向梁上的行走机构，行走机构上装有升降机构，其特征是：行走机构包括矩形框架，矩形框架的一根横梁上装有减速电机，减速电机的两个输出端各装有一根传动轴，每根传动轴末端装有沿纵向梁行走的驱动轮，矩形框架另一横梁的两端装有从动轮，矩形框架中间固定装有一个龙门架，龙门架上装有抓取支架，抓取支架与装载金属掩膜板的吊具配合作用，龙门架上装有用于驱动抓取支架升降的升降驱动机构。

2.根据权利要求1所述的一种用于金属掩膜板清洗系统的机械手，其特征是：所述升降驱动机构包括安装在龙门架两侧立柱上的齿轮链条传动机构，齿轮链条传动机构包括上端的驱动齿轮和下端的从动齿轮，驱动齿轮和从动齿轮上绕装有一根循环的链条，位于上端的两个驱动齿轮之间装有一根传动轴，龙门架上装有与传动轴连接的电机，所述抓取支架两端分别固定在两根立柱的链条上。

3.根据权利要求1所述的一种用于金属掩膜板清洗系统的机械手，其特征是：所述矩形框架的四角处装有沿清洗系统纵向梁侧面移动的导向轮。