[发明专利]硅片花篮的提升装置

权利要求书

1.一种硅片花篮的提升装置，其特征在于，包括驱动装置和提升架，所述驱动装置通过第一支架固定于机架，所述第一支架包括竖直设置的第一安装板和水平设置于所述第一安装板同一侧的第二安装板和第三安装板，所述第二安装板设置于所述第三安装板的正上方，所述第二安装板上方与所述第一安装板之间设有第一加强筋，所述驱动装置固定于所述第一安装板背离所述第二安装板的一侧，所述提升架传动连接于所述驱动装置，所述提升架包括传动连接于所述驱动装置的侧板、水平固定于所述侧板的底板以及夹紧装置，所述底板顶面设有缓冲垫，所述缓冲垫内凹设有若干让位孔，所述夹紧装置与硅片花篮的上端板和下端板对应设置。

2.根据权利要求1所述的硅片花篮的提升装置，其特征在于：所述驱动装置为螺杆电缸，所述侧板固定于所述驱动装置的滑台。

3.根据权利要求1所述的硅片花篮的提升装置，其特征在于：所述侧板背离所述驱动装置的侧面凹设有两组安装槽，两组所述安装槽分别与硅片花篮的上端板和下端板对应设置，所述安装槽内设有感应器。

4.根据权利要求1所述的硅片花篮的提升装置，其特征在于：所述底板底面与所述侧板之间设有第二加强筋，所述底板背离所述侧板的一端凸伸有安装台，所述夹紧装置固定于所述安装台。

5.根据权利要求1所述的硅片花篮的提升装置，其特征在于：所述夹紧装置包括固定于所述底板的第一气缸和通过第二支架固定于所述底板的第二气缸，所述第一气缸与硅片花篮的下端板对应设置，所述第二气缸与硅片花篮的上端板对应设置，所述第一气缸和第二气缸均为三轴气缸。

6.根据权利要求5所述的硅片花篮的提升装置，其特征在于：所述第一气缸与所述底板之间设有第一垫块，所述第一气缸的挡块端面设有第一夹紧块，所述第一夹紧块靠近硅片花篮的一端凸伸有与硅片花篮下端板对应设置的凸台。

7.根据权利要求5所述的硅片花篮的提升装置，其特征在于：所述第二支架包括竖直设置于所述底板的支撑柱和平行于所述底板设置的第四安装板，所述第四安装板固定于所述支撑柱的底端，所述第二气缸通过第二垫块固定于所述第四安装板，所述第二气缸的挡块端面设有第二夹紧块，所述第二夹紧块中心凹设有与硅片花篮上端板对应设置的卡槽。