[发明专利]一种大面积铁磁性靶材焊接方法及装置

权利要求书

1.一种使用大面积铁磁性靶材焊接装置的焊接方法，其特征在于，包括以下步骤：

1) 将背板放置在加热台上进行加热；同时将背板焊接面上的焊料加热熔化；所述加热温度为150~180℃；

2) 在焊料加热熔化后，使用真空吸盘将靶材的靶坯扣在背板凹槽内；

3) 靶材的靶坯与背板贴合后，旋转永磁吸盘调节钮，使永磁吸盘表面产生磁性，将靶材的靶坯吸附在背板上，关闭加热电源，使加热台自然降温；

4) 冷却到室温后旋转永磁吸盘调节钮，使永磁吸盘表面退磁，将焊接好的靶坯和背板从加热台上取下，得到大面积铁磁性靶材；

所述焊接装置包括加热台与可换向控制的永磁吸盘，所述永磁吸盘放置在加热台上，背板与铁磁性靶材的靶坯依次放置在永磁吸盘上，通过永磁吸盘的磁吸作用将所述铁磁性靶材的靶坯固定在背板上，并与背板焊合。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述永磁吸盘的直径介于靶坯与背板直径尺寸之间，为450~530mm。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述永磁吸盘中的磁铁是钕铁硼、锶钙铁氧体、钐钴或铝镍钴耐高温磁铁。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述铁磁性金属靶材的靶坯材质为含有Fe、Co与Ni的铁磁性金属或合金。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述背板材质为Al合金或Cu合金；所述背板厚度为5-30mm。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述背板表面加工有凹槽，用于固定铁磁性靶材的靶坯，所述凹槽深度0.5~2mm。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤2）中所述背板的凹槽中涂覆焊料，焊料熔化后，将焊料均匀涂覆在整个靶坯与背板上。