[发明专利]一种显微硬度计的自动聚焦系统有效
申请号: | 201811526527.2 | 申请日: | 2018-12-13 |
公开(公告)号: | CN109471253B | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 石伟;李杨 | 申请(专利权)人: | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 |
主分类号: | G02B21/24 | 分类号: | G02B21/24 |
代理公司: | 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人: | 邬晓楠 |
地址: | 100095*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显微 硬度计 自动 聚焦 系统 | ||
1.一种显微硬度计的自动聚焦系统,其特征在于:包括工作台(1)、调焦升降组(2)、调焦齿轮组(3)、自动升降组(4)、手轮(5),以及驱动箱、自动聚焦模块;工作台(1)、调焦升降组(2)、调焦齿轮组(3)、自动升降组(4)、手轮(5)依次连接;
根据实际使用情况分为手动模式或自动聚焦模式,手动模式:手轮(5)带动调焦齿轮组(3)进行转动,调焦齿轮组(3)经过齿轮转向使调焦升降组(2)进行上下作用,从而带动调焦升降组(2)上方的工作台(1)上下运动完成对焦;自动模式:自动聚焦模块控制驱动箱,驱动箱驱动调焦齿轮组(3)进行转动,调焦齿轮组(3)经过齿轮转向使调焦升降组(2)进行上下作用,从而带动调焦升降组(2)上方的工作台(1)上下运动完成对焦;
工作台(1)用于承载显微硬度试样,并用于实现XY方向运动;
其中,自动聚焦模块用于实现自动聚焦控制,实现方法包括如下步骤,
第一步,对打压后的压痕进行初次压痕图像聚焦采集,通过计算找到下一个更为准确的聚焦范围;所述初次压痕步距为±10~±400μm;
第二步,在初次聚焦后得到的更为准确的聚焦范围内,进行的二次压痕图像聚焦采集,得到准确的聚焦范围;所述二次压痕步距为±1~±9μm;
第三步,在二次聚焦后得到的准确聚焦范围内焦平面,进行最终压痕图像的聚焦采集,以得到最终精确清晰可测量的压痕图像;所述最终压痕步距为±0.4~±0.9μm;
第四步,找到第三步所得焦平面,得到精确清晰可测量的压痕图像后,将状态调至欠焦状态,后调回齐焦状态,即工作台先向下方移动第三步所设步距的距离,后向上方移动,保证上下移动的调焦轴的螺纹下沿始终在调焦轴套的螺纹上沿之上,以消除随着试验力的增加及重力的影响出现的失焦现象。
2.如权利要求1所述的一种显微硬度计的自动聚焦系统,其特征在于:调焦升降组(2)用于带动工作台(1)上下移动从而完成聚焦,包括调焦基座(6),调焦基座(6)内包含滚珠轴承(7),滚珠轴承(7)上方设有45°螺旋齿轮(8),45°螺旋齿轮(8)齿数为52,45°螺旋齿轮(8)上方设有螺旋齿轮(9),螺旋齿轮(9)上方设有调焦轴套(10),调焦轴套(10)内包含调焦轴(11),调焦轴(11)为螺距1.5mm的螺杆,调焦轴(11)上附有方向导轨(12),方向导轨(12)左右各设有一个固定方向轴承(13)。
3.如权利要求2所述的一种显微硬度计的自动聚焦系统,其特征在于:调焦齿轮组(3)包含调焦齿轮(14),调焦齿轮(14)与45°螺旋齿轮(8)相连接进行传动,调焦齿轮(14)齿数为13。
4.如权利要求3所述的一种显微硬度计的自动聚焦系统,其特征在于:自动升降组(4)的升降电机座(15)上有步进电机(16),步进电机(16)接有连接轴(17),连接轴(17)上固定有小带轮(18),小带轮(18)与大带轮(19)通过传送带(20)连接,大带轮(19)与小带轮(18)的传动比为1:5,大带轮(19)与调焦齿轮(14)连接传动。
5.如权利要求4所述的一种显微硬度计的自动聚焦系统,其特征在于:手轮(5)与调焦齿轮(14)连接,用于手动调焦。
6.如权利要求5所述的一种显微硬度计的自动聚焦系统,其特征在于:驱动箱驱动步进电机(16)旋转。
7.如权利要求6所述的一种显微硬度计的自动聚焦系统,其特征在于:为消除对焦换向过程中的螺距间隙,空行程,便于控制,换向后步进电机需先进行预设步进的对焦操作;预设步进的方法如下:螺距为αμm,电机控制对焦时的放大倍数为x倍,马达一圈360°的脉冲数为β,故马达每一个脉冲对应的距离δ为δ=α/(x·β),螺距导致的空行程间隙为γμm,为消除该间隙,需要γ/δ=A个脉冲。
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