[发明专利]一种异质结太阳电池及其制备方法在审
申请号: | 201811527126.9 | 申请日: | 2018-12-13 |
公开(公告)号: | CN109309138A | 公开(公告)日: | 2019-02-05 |
发明(设计)人: | 张树德;魏青竹;倪志春;钱洪强;连维飞;揭建胜;张晓宏 | 申请(专利权)人: | 苏州腾晖光伏技术有限公司;苏州大学 |
主分类号: | H01L31/0747 | 分类号: | H01L31/0747;H01L31/20;H01L31/0288 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 215500 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 选择性接触 空穴 衬底层 异质结太阳电池 表面钝化层 本征层 背离 第二表面 第一表面 掺杂层 宽带隙 制备 申请 光电转换效率 第二电极 第一电极 光吸收 中空穴 短路 带隙 寄生 减小 吸光 | ||
1.一种异质结太阳电池,其特征在于,包括:
衬底层;
位于所述衬底层第一表面的表面钝化层;
位于所述表面钝化层背离所述衬底层的表面的空穴选择性接触层,且所述空穴选择性接触层为宽带隙空穴选择性接触层;
位于所述空穴选择性接触层背离所述表面钝化层的表面的第一电极;
位于所述衬底层第二表面的本征层;
位于所述本征层背离所述衬底层的表面的掺杂层;
位于所述掺杂层背离所述本征层的表面的第二电极;
其中,所述第一表面与所述第二表面相对。
2.如权利要求1所述的异质结太阳电池,其特征在于,所述表面钝化层为宽带隙表面钝化层。
3.如权利要求1或2所述的异质结太阳电池,其特征在于,还包括:
位于所述宽带隙空穴选择性接触层与所述第一电极之间的第一导电层;
和位于所述掺杂层与所述第二电极之间的第二导电层。
4.如权利要求3所述的异质结太阳电池,其特征在于,所述宽带隙空穴选择性接触层的厚度取值范围为0.1nm-50nm,包括端点值。
5.如权利要求2所述的异质结太阳电池,其特征在于,所述宽带隙表面钝化层的厚度取值范围为0.1nm-5nm,包括端点值。
6.如权利要求1所述的异质结太阳电池,其特征在于,所述第二电极为栅线电极。
7.一种异质结太阳电池制备方法,其特征在于,包括:
在所述衬底层第一表面形成表面钝化层;
在所述表面钝化层背离所述衬底层的表面形成宽带隙空穴选择性接触层;
在所述空穴选择性接触层背离所述表面钝化层的表面形成第一电极;
在所述衬底层第二表面形成本征层;
在所述本征层背离所述衬底层的表面形成掺杂层;
在所述掺杂层背离所述本征层的表面形成第二电极;
其中,所述第一表面与所述第二表面相对。
8.如权利要求7所述的异质结太阳电池制备方法,其特征在于,所述在所述衬底层第一表面形成表面钝化层包括:
在所述衬底层第一表面形成宽带隙表面钝化层。
9.如权利要求8所述的异质结太阳电池,其特征在于,还包括:
在所述宽带隙空穴选择性接触层与所述第一电极之间形成第一导电层;
和在所述掺杂层与所述第二电极之间形成第二导电层。
10.如权利要求7所述的异质结太阳电池,其特征在于,在所述衬底层第一表面形成表面钝化层之前还包括:
对所述衬底层的第一表面进行制绒。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的