[发明专利]适用于封闭流体回路的压电泵及其制作方法

权利要求书

1.一种适用于封闭流体回路的压电泵的制作方法，其特征在于：

所述适用于封闭流体回路的压电泵包括泵体、进液阀片、排液阀片、压电振子、出口管和入口管，所述泵体上表面设有中心沉腔，下表面设有入流沉腔和出流沉腔，入流沉腔和中心沉腔通过进液孔连通，中心沉腔和出流沉腔之间通过排液孔连通；进液阀片安装在中心沉腔底部并将进液孔封盖，排液阀片安装在出流沉腔底部并将排液孔封盖；压电振子安装在泵体上表面并将中心沉腔封盖；在泵体下表面分别安装有入流沉腔端盖和出流沉腔端盖，以各自将入流沉腔和出流沉腔封盖；

在泵体上设有进液通道和排液通道，进液通道与入流沉腔连通，排液通道和出流沉腔连通，所述入口管安装在进液通道进口端，出口管安装在排液通道出口端；入口管和出口管与泵体一体加工成型；

在泵体上表面设有罩盖，罩盖将压电振子封盖的同时将部分泵体上表面一起封盖，罩盖和压电振子及被封盖的泵体上表面之间的空腔形成气压平衡腔，在入流沉腔与气压平衡腔之间或者出流沉腔与气压平衡腔之间设有连通两者的气压平衡孔；

所述罩盖上设有电极引出孔，电极引针外套设有套管，套管内封闭有绝缘介质以将电极引针包裹并使电极引针与套管形成为一个预先加工好的整体，套管的长度与电极引出孔的长度对应；套管固定在电极引出孔中，从而保证气密性，电极引针一端处于压电泵内部并通过电极引线焊接连接压电振子上表面电极，另一端处于压电泵外部，用于施加电信号；

入流沉腔端盖和出流沉腔端盖均为薄圆片，其中入流沉腔端盖固定在所述泵体的下表面，封闭住入流沉腔的朝下开口；出流沉腔端盖固定在所述泵体的下表面，封闭住所述出流沉腔；在泵体下表面安装入流沉腔端盖和出流沉腔端盖的位置分别设有沉台，入流沉腔端盖和出流沉腔端盖分别安装在沉台内；安装到位后，泵体下表面和入流沉腔端盖及出流沉腔端盖构成平整的下表面；

制备步骤如下，

1）准备压电陶瓷片、电极引线、电极引针；

2）利用金属材料制作泵体、进液阀片、排液阀片、金属膜片、罩盖、入流沉腔端盖、出流沉腔端盖；

3）将印刷有金属电极的压电陶瓷片与金属膜片键合或粘接制作出压电振子；

4）将进液阀片焊接或粘接至泵体中心沉腔底部并将进液孔封盖，排液阀片焊接或粘接至泵体出流沉腔底部并将排液孔封盖；

5）将压电振子、入流沉腔端盖、出流沉腔端盖焊接或粘接至泵体对应位置，分别封盖住中心沉腔，入流沉腔与出流沉腔；

6）将电极引针置于罩盖电极引出孔处，通过烧结的方式形成气密焊接，并用电极引线焊接连接压电振子上表面电极以及电极引针位于罩盖内一端；

7）在压电泵内部通过化学气相沉积形成一层薄膜状的绝缘层，该绝缘层使得泵体内部电极与内部流体形成有效隔绝；所述化学气相沉积材料为聚对二甲苯，利用化学气相沉积生长的聚对二甲苯薄膜材料具有的台阶覆盖性实现对电极引针针尖尖端部位的防护；

8）将罩盖置于泵体对应位置，封盖住泵体上表面，形成气压平衡腔，通过焊接或粘接的方式将罩盖与泵体连接为一体；

9）最后经过酒精、蒸馏水清洗，即制作完成。

2.根据权利要求1所述的适用于封闭流体回路的压电泵的制作方法，其特征在于：所述罩盖呈带帽沿的草帽状，泵体上表面设有用于安装帽沿的沉台，罩盖的帽沿落在沉台上并与泵体固定安装，沉台的深度使泵体上表面与帽沿上表面平齐；所述电极引出孔开设在罩盖的侧壁上。