[发明专利]一种硼掺杂半导体石墨的制备方法在审

专利信息
申请号: 201811528907.X 申请日: 2018-12-13
公开(公告)号: CN109835892A 公开(公告)日: 2019-06-04
发明(设计)人: 李四中 申请(专利权)人: 华侨大学
主分类号: C01B32/21 分类号: C01B32/21;H01L29/167
代理公司: 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 代理人: 张松亭;姜谧
地址: 362000 福建省*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 半导体石墨 碳原子 硼掺杂 硼元素 硼原子 制备 热处理 浓度梯度 石墨颗粒 温度环境 直径差别 石墨 掺杂的 活泼性 石墨烯 替代性 替代 硼源 掺杂 扩散 驱动
【权利要求书】:

1.一种硼掺杂半导体石墨的制备方法,其特征在于:包括:将硼源与石墨颗粒混合后,于2000-3000℃恒温处理1-1000min,其过程中硼元素在石墨颗粒中浓度梯度的驱动下扩散至石墨颗粒,得到所述硼掺杂半导体石墨。

2.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:还包括将所述硼掺杂半导体石墨进行超声或者微机械剥离。

3.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述石墨颗粒为天然石墨颗粒、人造石墨颗粒或可在2000-3000℃下转化为石墨的碳源颗粒。

4.如权利要求3所述的制备方法,其特征在于:所述人造石墨颗粒为高定向热解石墨颗粒。

5.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述硼源包括硼、三氧化二硼、硼化镁、硼化钙、碳化硼、二硼化钛、二硼化锆、二硼化铪、二硼化钒、二硼化铊、二硼化铌、三硼化铬、硼化钼和硼化钨中的至少一种。

6.如权利要求5所述的制备方法,其特征在于:所述硼源为硼、三氧化二硼和碳化硼中的至少一种。

7.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述硼源中的硼元素与所述石墨颗粒的质量比为0.2-50∶100。

8.如权利要求1至7中任一权利要求所述的制备方法,其特征在于:所述恒温处理的温度为2400-3000℃,时间为10-60min。

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