[发明专利]光扫描装置和影像装置有效
申请号: | 201811531776.0 | 申请日: | 2018-12-14 |
公开(公告)号: | CN109975975B | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
发明(设计)人: | 松田孝弘;瀬尾欣穂;大内敏;尾上慎介 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立制作所 |
主分类号: | G02B26/10 | 分类号: | G02B26/10 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扫描 装置 影像 | ||
在光扫描装置(100),激振部(101)具有:使导光路(102)在与光轴方向大致垂直的方向上振动的第一、第三元件(3021,3023);和在与该振动方向大致垂直的方向上振动的第二、第四元件(3022,3024),对第一至第四元件的一个电极(3011~3014)施加驱动信号,另一个电极(3015)形成为浮动电位的公共电极。驱动信号生成部(1007)以使得施加于第一、第三元件的驱动信号(Vy1、Vy2)的中位值与施加于第二、第四元件的驱动信号(Vx1、Vx2)的中位值成为大致相同的值的方式生成驱动信号。
优先权要求
本发明基于2017年12月28日在日本提出申请的日本特开2017-253447号公报主张优先权,其主要内容作为参照被引入本发明。
背景技术
(1)技术领域
本发明涉及利用压电元件等激振部扫描光的光扫描装置和使用该装置的影像装置。
(2)背景技术
作为利用激振部扫描光的技术,在日本特开2014-180317号公报中,公开有为了能够实现光纤的均匀的振动而在振动产生部与出射端之间配置振动衰减部件的光纤扫描仪。在日本特开2009-192252号公报中,公开有如下结构:在精密仪器的定位装置等中使用的圆筒型压电致动器中,为了抑制来自周围部件的噪声的混入,使用单一的带状电极覆盖外周面,将该电极与接地电位连接,对内周面上的分割电极施加电压。
发明内容
在以上述专利文献为代表的现有技术中,使在多个方向上产生振动的致动器具有在周向上分割为多个(例如4个)的振动元件(例如压电元件),在各振动元件的电极连接有用于驱动致动器的电配线。在该情况下,即使将各振动元件的一个电极作为公共电极进行接地连接,也需要将电配线连接5个以上。因此,构成致动器的配线的粗细和接合部变大,因此致动器和装载该致动器的装置的小型化受到限制。特别是将公共电极配置在内周侧时的配线与外周侧相比,配线的粗细相对变大,因此受到的影响也大。另一方面,如果去除公共电极的接地连接用的配线,则公共电极的电位变得不稳定,因此致动器的工作也会不稳定。
本发明的目的在于提供能够确保工作的稳定性并同时减少电配线数量、实现装置整体的小型化的光扫描装置。
本发明的光扫描装置包括:使光从一端入射而从另一端出射的导光路;对所述导光路施加振动的激振部;和生成用于使所述激振部振动的驱动信号的驱动信号生成部。所述激振部包括:为了使所述导光路在与该导光路的光轴方向大致垂直的方向上振动而协同工作的第一元件和第三元件;和为了使所述导光路在与所述导光路的光轴方向大致垂直、且与所述第一元件和所述第三元件的振动方向大致垂直的方向上振动而协同工作的第二元件和第四元件。所述第一至第四元件各具有2个电极,向所述第一至第四元件的一个电极施加来自所述驱动信号生成部的驱动信号,并且所述第一至第四元件的另一个电极相对所述驱动信号为浮动电位的公共电极。所述驱动信号生成部以使得施加于所述第一元件的驱动信号和施加于所述第三元件的驱动信号的中位值、与施加于所述第二元件的驱动信号和施加于所述第四元件的驱动信号的中位值成为大致相同的值的方式生成驱动信号。
根据本发明,能够提供能够确保工作的稳定性并且减少电配线数、而且能够实现装置整体的小型化的光扫描装置。
附图说明
本发明的这些以及其它特征、对象和优点能够通过结合以下的附图进行的说明而明了。
图1是表示实施例1的影像装置10的结构的框图。
图2是表示光扫描部1001的结构的截面图。
图3是表示激振部101的结构的截面图。
图4是表示4个外周电极的形状的展开图。
图5是表示四方形的筒型致动器的例子的截面图。
图6是表示4个压电元件的电等效电路的图。
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