[发明专利]一种异型多晶炉坩埚护板在审
| 申请号： | 201811532145.0 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109321971A | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 邵长洲;韩晓敏;夏益民;王心才 | 申请（专利权）人： | 扬州荣德新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陈栋智 |
| 地址： | 225000 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 侧板 盖板安装 固定孔 多晶炉 护板 坩埚 安装效率 侧板顶部 顶部设置 硅片制造 上固定栓 相对设置 依次连接 固定件 减震孔 磕碰 板面 可用 块侧 加工 配合 | ||
1.一种异型多晶炉坩埚护板，所述护板由四块矩形的侧板依次连接围成，每块所述侧板的一侧边上设有固定孔，每两块所述侧板通过固定件与所述固定孔的配合形成连接；每块所述侧板的板面位于所述固定孔的位置上开设有与所述固定孔交叉的减震孔，其特征在于，所述侧板的顶部加工有配合盖板的安装槽，所述侧板的上端开设有一排与安装槽配合的导流孔。
2.根据权利要求1所述的一种异型多晶炉坩埚护板，其特征在于，所述固定孔为螺纹孔，所述固定件为螺栓。
3.根据权利要求2所述的一种异型多晶炉坩埚护板，其特征在于，每块所述侧板还具有定位孔，所述螺栓依次穿过一所述侧板的定位孔、另一所述侧板的螺纹孔以将该两块侧板连接。
4.根据权利要求3所述的一种异型多晶炉坩埚护板，其特征在于，所述定位孔加工为沉头孔。
5.根据权利要求3所述的一种异型多晶炉坩埚护板，其特征在于，所述减震孔为腰型孔，且完全穿透护板。
6.根据权利要求3所述的一种异型多晶炉坩埚护板，其特征在于，所述减震孔沿竖直方向设置有两列。
7.根据权利要求3所述的一种异型多晶炉坩埚护板，其特征在于，所述定位孔沿竖直方向设置有两列。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的一种异型多晶炉坩埚护板，其特征在于，所述导流孔加工成倾斜孔，且侧板内侧孔口低于外侧孔口。
9.根据权利要求1-7中任一项所述的一种异型多晶炉坩埚护板，其特征在于，所述侧板为石墨材质，且侧板的内侧设置有涂层。
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