[发明专利]探针误差检测装置

权利要求书

1.一种探针误差检测装置，其特征在于，包括：

探针座，用于固定待测探针，所述待测探针的部分由所述探针座沿第一方向延伸；以及

限位块，在所述第一方向上与所述探针座相对设置且能够相对移动，使得所述探针座与所述限位块在所述第一方向上能够相互靠近或远离，所述限位块面向所述探针座的表面设有检测区，

其中所述检测区在预定方向上的尺寸为所述待测探针的待测端在所述预定方向上的允许误差值。

2.根据权利要求1所述的探针误差检测装置，其特征在于，所述探针误差检测装置还包括：

调节装置，与所述限位块、所述探针座的任一连接，所述调节装置能够带动所连接的所述限位块或所述探针座在垂直于所述第一方向的至少一个方向移动。

3.根据权利要求2所述的探针误差检测装置，其特征在于，所述调节装置包括：

调节块，设有沿第二方向延伸的第一滑槽，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述限位块滑动设置于所述第一滑槽内。

4.根据权利要求3所述的探针误差检测装置，其特征在于，所述调节装置还包括：

第一微调装置，沿所述第二方向穿入所述调节块连接至所述限位块，以带动所述限位块沿所述第二方向位移；以及

第一测距装置，沿所述第二方向穿入所述调节块连接至所述限位块，以检测所述限位块沿所述第二方向的位移量。

5.根据权利要求4所述的探针误差检测装置，其特征在于，所述调节块设有自所述调节块外侧沿所述第二方向延伸至所述第一滑槽的第一螺纹孔，所述限位块朝向所述第一螺纹孔的表面设有第一T形槽，所述第一微调装置为第一螺钉，所述第一螺钉的一端穿过所述第一螺纹孔并且与所述第一T形槽滑动配合。

6.根据权利要求3所述的探针误差检测装置，其特征在于，所述调节装置还包括：

支撑件，设有沿第三方向延伸的第二滑槽，所述第三方向与所述第一方向垂直且与所述第二方向相交，所述调节块滑动设置于所述第二滑槽内。

7.根据权利要求6所述的探针误差检测装置，其特征在于，所述调节装置还包括：

第二微调装置，沿所述第三方向穿入所述支撑件连接至所述调节块，以带动所述调节块沿所述第三方向位移；以及

第二测距装置，沿所述第三方向穿入所述支撑件连接至所述调节块，以检测所述调节块沿所述第三方向的位移量。

8.根据权利要求6所述的探针误差检测装置，其特征在于，所述第二方向与所述第三方向垂直，

其中所述检测区在所述第二方向上的尺寸与所述待测探针的待测端在所述第二方向上的允许误差值对应，所述检测区在所述第三方向上的尺寸与所述待测探针的待测端在所述第三方向上的允许误差值对应。

9.根据权利要求1所述的探针误差检测装置，其特征在于，所述探针座设置有两个以上定位销，两个以上所述定位销的位置与所述待测探针的部分结构匹配，使得所述待测探针能够固定于所述探针座上。

10.根据权利要求1所述的探针误差检测装置，其特征在于，在所述限位块面向所述探针座的表面，所述检测区绝缘，所述检测区外周的区域导电，或者，所述检测区导电，所述检测区外周的区域绝缘，

所述探针误差检测装置还包括：

提示装置，分别与所述待测探针、所述限位块的导电区域电连接，配置为所述待测探针与所述导电区域导通时发出提示。