[发明专利]一种平衡晶圆间热预算的方法

权利要求书

1.一种平衡晶圆间热预算的方法，应用于对晶圆进行第一次管炉工艺至第N次管炉工艺的过程，N为不小于2的整数，其特征在于，包括：

提供多批晶圆，所述多批晶圆定义为第一批晶圆至第M批晶圆，M为正整数；

控制所述多批晶圆依次执行所述第一次管炉工艺至所述第N次管炉工艺，其中，所述第一次管炉工艺至所述第N次管炉工艺划分为第一组和第二组，且所述第一组和所述第二组的管炉工艺数量差值不大于1，在执行第一组中任意一次管炉工艺的过程中，控制所述多批晶圆按照所述第一批晶圆至所述第M批晶圆的排列顺序依次进入相应反应炉，及控制所述多批晶圆按照所述第M批晶圆至所述第一批晶圆的排列顺序依次离开相应反应炉；以及，在执行第二组中任意一次管炉工艺的过程中，控制所述多批晶圆按照所述第M批晶圆至所述第一批晶圆的排列顺序依次进入相应反应炉，及控制所述多批晶圆按照所述第一批晶圆至所述第M批晶圆的排列顺序依次离开相应反应炉。

2.根据权利要求1所述的平衡晶圆间热预算的方法，其特征在于，所述第一次管炉工艺至所述第N次管炉工艺划分为第一组和第二组，包括：

按照奇偶顺序将所述第一次管炉工艺至所述第N次管炉工艺划分为第一组和第二组；

其中，所述第一组包括奇数次管炉工艺，且所述第二组包括偶数次管炉工艺；或者，

所述第一组包括偶数次管炉工艺，且所述第二组包括奇数次管炉工艺。

3.根据权利要求1所述的平衡晶圆间热预算的方法，其特征在于，所述第一次管炉工艺至所述第N次管炉工艺划分为第一组和第二组，包括：

按照前后顺序将所述第一次管炉工艺至所述第N次管炉工艺划分为第一组和第二组；

其中，所述第一组包括所述第一次管炉工艺至第i次管炉工艺，所述第二组包括第i+1次管炉工艺至所述第N次管炉工艺，N为偶数时i为N/2，及N为奇数时i为(N+1)/2或(N-1)/2；或者，

所述第二组包括所述第一次管炉工艺至第i次管炉工艺，所述第一组包括第i+1次管炉工艺至所述第N次管炉工艺。

4.根据权利要求1所述的平衡晶圆间热预算的方法，其特征在于，控制所述多批晶圆按照所述第一批晶圆至所述第M批晶圆的排列顺序依次进入相应反应炉的持续时间范围，与控制所述多批晶圆按照所述第M批晶圆至所述第一批晶圆的排列顺序依次进入相应反应炉的持续时间范围相同。

5.根据权利要求1所述的平衡晶圆间热预算的方法，其特征在于，控制所述多批晶圆按照所述第M批晶圆至所述第一批晶圆的排列顺序依次离开相应反应炉的持续时间范围，与控制所述多批晶圆按照所述第一批晶圆至所述第M批晶圆的排列顺序依次离开相应反应炉的持续时间范围相同。

6.根据权利要求1所述的平衡晶圆间热预算的方法，其特征在于，任意一反应炉为立式反应炉，且所述立式反应炉的进口和出口为同一开口。