[发明专利]一种提高高压二极管耐湿性的工艺方法在审

专利信息
申请号: 201811534787.4 申请日: 2018-12-14
公开(公告)号: CN111326425A 公开(公告)日: 2020-06-23
发明(设计)人: 梁效峰;徐长坡;陈澄;杨玉聪 申请(专利权)人: 天津环鑫科技发展有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L23/29
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 300384 天津市滨海新区*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 提高 高压 二极管 耐湿性 工艺 方法
【说明书】:

一种提高高压二极管耐湿性的工艺方法,在聚酰亚胺胶中加入少量茜素形成聚酰亚胺胶,将此聚酰亚胺胶涂覆在高压二极管表面进行固化、塑封、后固化、电镀锡、测试打印,本发明的优点在于,加入少量茜素可大幅度提高高压二极管耐湿性能。

技术领域

本发明属于高压二极管技术领域,尤其是涉及一种提高高压二极管耐湿性工艺方法。

背景技术

随着半导体技术的发展,对半导体表面钝化的要求越来越高,目前半导体钝化较理想的材料是聚酰亚胺,聚酰亚胺作为一种特种工程材料,已广泛应用在航空、航天、微电子、纳米、液晶、分离膜、激光等领域,作为钝化材料,其具备良好的电气性能、可靠性、化学稳定性、可操作性以及经济性,但其耐湿性较差,在高压二极管钝化中,若采用单一的聚酰亚胺作为钝化材料,不能满足高压二极管对绝缘性能的要求,因此,本发明的目的是提供一种能够提高高压二极管耐湿性的方法。

发明内容

本发明提供一种采用聚酰亚胺胶中加入少量茜素的工艺方法,极大的提高高压二极管耐湿性能。

为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案是:一种提高高压二极管耐湿性的工艺方法,其特征在于工艺步骤为:

(1)聚酰亚胺与NN二甲基乙酰胺混合并搅拌,将茜素加入到聚酰亚胺与NN二甲基乙酰胺的混合物中进行搅拌,形成聚酰亚胺胶;

(2)将高压二极管两端焊接铜引线形成粒子,将粒子用高温碱处理后进行清洗、然后经丙酮脱水并烘干;

(3)将配置的聚酰亚胺胶均匀涂覆在粒子表面;

(4)采用阶梯升温、恒温、阶梯降温的方式对聚酰亚胺胶进行固化;

(5)在固化后的粒子外塑封环氧树脂;

(6)对环氧树脂进行后固化;

(7)在铜引线上电镀一层锡;

(8)对电镀后的高压二极管进行极性判别、极性标记、参数测试等测试打印。

进一步地,聚酰亚胺与NN二甲基乙酰胺比例(体积比)为1~1.5:1。

具体的,茜素占聚酰亚胺与NN二甲基乙酰的混合物的比例(重量比)为0.5%~1.5%。

本发明具有的优点和积极效果是:在聚酰亚胺胶中加入茜素后,茜素中的活性基团与聚酰亚胺连接形成稳定的聚合物,该聚合物经高温固化后很难容水分子穿过,从而可以提高高压二极管的耐湿性。

具体实施方式

下面本发明实施例做进一步描述:

现有技术中,高压二极管的钝化一般采用单一的聚酰亚胺作为钝化材料,但聚酰亚胺耐湿性较差,不能满足高压二极管对绝缘性能的要求,因此本发明在聚酰亚胺中添加了少量茜素形成新的聚酰亚胺胶,可提高高压二极管的耐湿性。

茜素是一种典型的媒介染料,含有氧化还原活性基团,茜素中的活性基团与聚酰亚胺连接后形成共轭羰基聚合物,此聚合物结构稳定,且很大程度上提高了与金属、玻璃、硅等无机材料的粘结性,将共轭羰基聚合物涂覆在二极管芯片表面经高温固化后,水分子很难穿通此聚合物到达硅表面,从而提高二极管芯片其耐湿性。

具体工艺步骤为:

(1)将NN二甲基乙酰胺作为稀释剂加入聚酰亚胺中并搅拌均匀,然后将茜素加入到聚酰亚胺与NN二甲基乙酰的混合物中再次进行搅拌,直至茜素完全溶于聚酰亚胺与NN二甲基乙酰胺中,形成聚酰亚胺胶;

(2)将高压二极管两端焊接铜引线形成粒子,将粒子用高温碱进行处理后清洗,然后用丙酮脱水并烘干,提高聚酰亚胺胶的附着率;

(3)采用旋涂工艺将配置好的聚酰亚胺胶均匀涂覆在粒子表面;

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