[发明专利]一种提高高压二极管耐湿性的工艺方法在审
申请号: | 201811534787.4 | 申请日: | 2018-12-14 |
公开(公告)号: | CN111326425A | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 梁效峰;徐长坡;陈澄;杨玉聪 | 申请(专利权)人: | 天津环鑫科技发展有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/29 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 提高 高压 二极管 耐湿性 工艺 方法 | ||
一种提高高压二极管耐湿性的工艺方法,在聚酰亚胺胶中加入少量茜素形成聚酰亚胺胶,将此聚酰亚胺胶涂覆在高压二极管表面进行固化、塑封、后固化、电镀锡、测试打印,本发明的优点在于,加入少量茜素可大幅度提高高压二极管耐湿性能。
技术领域
本发明属于高压二极管技术领域,尤其是涉及一种提高高压二极管耐湿性工艺方法。
背景技术
随着半导体技术的发展,对半导体表面钝化的要求越来越高,目前半导体钝化较理想的材料是聚酰亚胺,聚酰亚胺作为一种特种工程材料,已广泛应用在航空、航天、微电子、纳米、液晶、分离膜、激光等领域,作为钝化材料,其具备良好的电气性能、可靠性、化学稳定性、可操作性以及经济性,但其耐湿性较差,在高压二极管钝化中,若采用单一的聚酰亚胺作为钝化材料,不能满足高压二极管对绝缘性能的要求,因此,本发明的目的是提供一种能够提高高压二极管耐湿性的方法。
发明内容
本发明提供一种采用聚酰亚胺胶中加入少量茜素的工艺方法,极大的提高高压二极管耐湿性能。
为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案是:一种提高高压二极管耐湿性的工艺方法,其特征在于工艺步骤为:
(1)聚酰亚胺与NN二甲基乙酰胺混合并搅拌,将茜素加入到聚酰亚胺与NN二甲基乙酰胺的混合物中进行搅拌,形成聚酰亚胺胶;
(2)将高压二极管两端焊接铜引线形成粒子,将粒子用高温碱处理后进行清洗、然后经丙酮脱水并烘干;
(3)将配置的聚酰亚胺胶均匀涂覆在粒子表面;
(4)采用阶梯升温、恒温、阶梯降温的方式对聚酰亚胺胶进行固化;
(5)在固化后的粒子外塑封环氧树脂;
(6)对环氧树脂进行后固化;
(7)在铜引线上电镀一层锡;
(8)对电镀后的高压二极管进行极性判别、极性标记、参数测试等测试打印。
进一步地,聚酰亚胺与NN二甲基乙酰胺比例(体积比)为1~1.5:1。
具体的,茜素占聚酰亚胺与NN二甲基乙酰的混合物的比例(重量比)为0.5%~1.5%。
本发明具有的优点和积极效果是:在聚酰亚胺胶中加入茜素后,茜素中的活性基团与聚酰亚胺连接形成稳定的聚合物,该聚合物经高温固化后很难容水分子穿过,从而可以提高高压二极管的耐湿性。
具体实施方式
下面本发明实施例做进一步描述:
现有技术中,高压二极管的钝化一般采用单一的聚酰亚胺作为钝化材料,但聚酰亚胺耐湿性较差,不能满足高压二极管对绝缘性能的要求,因此本发明在聚酰亚胺中添加了少量茜素形成新的聚酰亚胺胶,可提高高压二极管的耐湿性。
茜素是一种典型的媒介染料,含有氧化还原活性基团,茜素中的活性基团与聚酰亚胺连接后形成共轭羰基聚合物,此聚合物结构稳定,且很大程度上提高了与金属、玻璃、硅等无机材料的粘结性,将共轭羰基聚合物涂覆在二极管芯片表面经高温固化后,水分子很难穿通此聚合物到达硅表面,从而提高二极管芯片其耐湿性。
具体工艺步骤为:
(1)将NN二甲基乙酰胺作为稀释剂加入聚酰亚胺中并搅拌均匀,然后将茜素加入到聚酰亚胺与NN二甲基乙酰的混合物中再次进行搅拌,直至茜素完全溶于聚酰亚胺与NN二甲基乙酰胺中,形成聚酰亚胺胶;
(2)将高压二极管两端焊接铜引线形成粒子,将粒子用高温碱进行处理后清洗,然后用丙酮脱水并烘干,提高聚酰亚胺胶的附着率;
(3)采用旋涂工艺将配置好的聚酰亚胺胶均匀涂覆在粒子表面;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造