[发明专利]套嵌式多级光学聚焦头及万向节式光源探头装置及其应用

权利要求书

1.套嵌式多级光学聚焦头及万向节式光源探头装置，其特征在于：该装置包括透镜焦距调节转接筒（2）、透镜焦距调节变径筒（3）和焦距透镜内置筒（4）；所述透镜焦距调节转接筒（2）的顶部设有光源光纤入口（1），其底部与所述透镜焦距调节变径筒（3）相连，该透镜焦距调节变径筒（3）与所述焦距透镜内置筒（4）套接在一起；所述焦距透镜内置筒（4）的一侧设有透镜焦距调节螺丝（5），其内设有光学聚焦透镜（6），其底部通过轴向360度调整螺丝（7）连有X射线光电子能谱仪光学窗口转接头（8）。

2.如权利要求1所述的套嵌式多级光学聚焦头及万向节式光源探头装置，其特征在于：所述外载光源系统（10）是指太阳能模拟器、氙灯、LED光源、激光器中的一种。

3.如权利要求2所述的套嵌式多级光学聚焦头及万向节式光源探头装置，其特征在于：所述太阳能模拟器所提供光源的波长范围为180 nm~3000 nm，强度为1~1000 mW/cm²。

4.如权利要求2所述的套嵌式多级光学聚焦头及万向节式光源探头装置，其特征在于：所述氙灯所提供光源的波长范围为 190 nm~1100 nm，强度为 1~2000 mW/ cm²。

5.如权利要求2所述的套嵌式多级光学聚焦头及万向节式光源探头装置，其特征在于：所述 LED 光源所提供光源的波长范围为 180 nm~3000 nm，强度为 1~1000 mW/ cm²。

6.如权利要求2所述的套嵌式多级光学聚焦头及万向节式光源探头装置，其特征在于：所述激光器所提供光源的波长范围为 180 nm~3000 nm，强度为 1~10¹⁵ mW/ cm²。

7.如权利要求1所述的套嵌式多级光学聚焦头及万向节式光源探头装置的应用，包括以下步骤：

⑴将光源光纤（9）插入套嵌式多级光学聚焦头及万向节式光源探头装置的光源光纤入口（1）中；

⑵将X射线光电子能谱仪光学窗口转接头（8）插入X射线光电子能谱仪真空室壁上其对应设置的光学窗口上；

⑶开启外载光源系统（10）并选择合适光源及其需要的波长和强度，通过上下调节透镜焦距调节螺丝（5），使光学聚焦透镜（6）的光源光斑大小在0.03~3 cm^-2范围内进行调节；

⑷调节前后左右四个方向的轴向360度调整螺丝（7）、调整照射于样品（12）表面的入射光光斑的方向；

⑸开启X 射线光源（11）进行同步光照-X射线光电子能谱分析检测。