[发明专利]抛光装置及半导体晶圆平坦化设备在审
| 申请号： | 201811536665.9 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109500712A | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 刘福强;费玖海 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B37/10;B24B37/34;B24B47/04;B24B47/20 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 杨鹏 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 摆动 直线行走机构 抛光装置 减速机 悬臂 摆动驱动装置 抛光头组件 半导体晶圆 平坦化设备 摆动机构 弧线 半导体制造技术 驱动减速机 直线往复式 晶圆抛光 清扫运动 悬臂连接 运动距离 往复式 申请 转动 复合 驱动 | ||
1.一种抛光装置，其特征在于，包括摆动机构、直线行走机构和抛光头组件；
所述摆动机构包括摆动悬臂、摆动驱动装置和减速机；所述摆动驱动装置和所述减速机连接，所述摆动驱动装置用于驱动所述减速机转动；所述减速机与所述摆动悬臂连接，所述减速机用于驱动所述摆动悬臂沿设定轨迹摆动；
所述摆动悬臂上安装有所述直线行走机构，所述直线行走机构与所述抛光头组件相连接，所述直线行走机构使得所述抛光头组件能够沿所述摆动悬臂的长度方向往复运动。
2.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述摆动机构还包括固定座和转动座，所述摆动驱动装置安装于所述固定座上，所述减速机的固定端与所述固定座连接，且所述减速机的输出端与所述转动座相连接；所述固定座与所述转动座连接，所述转动座能够相对于所述固定座转动；所述转动座与所述摆动悬臂相连接，所述摆动悬臂能够相对于所述固定座转动。
3.根据权利要求2所述的抛光装置，其特征在于，所述固定座具有第一容纳腔，所述摆动驱动装置位于所述第一容纳腔内，且所述摆动驱动装置与所述固定座可拆卸连接；所述转动座具有第二容纳腔，所述减速机位于所述第二容纳腔内，且所述减速机与所述转动座可拆卸连接，所述减速机与所述固定座可拆卸连接。
4.根据权利要求2或3中任一项所述的抛光装置，其特征在于，所述固定座与所述转动座通过轴承连接。
5.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述直线行走机构包括轨道组件；所述轨道组件包括滑块和滑轨，所述滑轨安装于所述摆动悬臂上，所述滑块能够沿所述滑轨的导向方向滑动，所述抛光头组件与所述滑块相连接。
6.根据权利要求5所述的抛光装置，其特征在于，所述直线行走机构还包括直行驱动装置，所述直行驱动装置与所述摆动悬臂连接，所述直行驱动装置的输出轴与所述滑块相连接，所述直行驱动装置用于驱动所述滑块沿所述滑轨的导向方向往复运动。
7.根据权利要求6所述的抛光装置，其特征在于，所述摆动悬臂包括间隔设置的两个支臂，所述轨道组件的数量为两个，两个所述轨道组件分别位于两个所述支臂上；所述抛光头组件位于两个所述支臂之间。
8.根据权利要求5所述的抛光装置，其特征在于，还包括抛光盘，所述抛光头组件包括抛光驱动装置和抛光头本体，其中，所述抛光盘与所述抛光头本体间隔设置，所述抛光盘与所述抛光头本体用于对待抛光物的表面抛光；所述抛光驱动装置的输出轴与所述抛光头本体相连接，所述抛光驱动装置用于驱动所述抛光头本体旋转。
9.根据权利要求8所述的抛光装置，其特征在于，所述轨道组件还包括安装座，所述安装座的一侧与所述滑块相连接，所述安装座的另一侧安装有所述抛光驱动装置。
10.一种半导体晶圆平坦化设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的抛光装置。
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