[发明专利]一种靶材冷却装置

说明书

本发明公开了一种靶材冷却装置，包括靶座、安装在靶座上的靶材背板、绑定在靶材背板正面的靶材，在靶材背板的背面开设有多条连通的水冷槽，水冷槽通过水冷盖板密封，在靶材背板的背面还开有与水冷槽连通的进、出水口，在靶座上与进、出水口对应位置分别开有进、出水通道，进、出水通道在与进、出水口对接处内置有密封隔套，在密封隔套与靶材背板连接处设有密封圈，进、出水通道的另一端通过连接法兰连接外部进、出水管。本发明通过背板直接对靶材进行冷却，冷却效果好，可快速降低靶材温度，每次更换靶材时，可直接将背板从靶座上取下，不需要拆卸进出水接头，从而减少对背板的损伤，提高了更换的效率。

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体为一种靶材冷却装置。

背景技术

溅射镀膜就是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面，使被轰击出的粒子沉积在基片上的技术。通常，利用低压惰性气体辉光放电来产生入射离子。阴极靶由镀膜材料制成，基片作为阳极，真空室中通入氩气或其它惰性气体，电离出的氩离子轰击靶表面，使得靶原子溅出并沉积在基片上，形成薄膜。

靶材组件是由符合溅射性能的靶材及能与靶材结合并具有一定强度的背板构成，背板可以在所述靶材组件装配至靶座中起到支撑作用，并具有传导热量的功效。

在真空溅镀过程中会发出大量的热量，靶材需要均匀的散热以保证不发生龟裂，现有技术中，多是采用在靶座内设置冷却通道，通过间接水冷的方式来冷却背板，通过背板传递到靶材来吸收靶材在溅射过程中产生的热量，该种方式冷却效果低，传热不显著，冷却效果不理想，常常会引起烧靶，或者靶材表面出现裂纹的现象。

发明内容

本发明针对上述现有技术中存在的问题，提供一种靶材冷却装置，通过背板直接对靶材进行冷却。

本发明采用的技术方案如下：一种靶材冷却装置，包括靶座、安装在靶座上的靶材背板、绑定在靶材背板正面的靶材，在靶材背板的背面开设有多条连通的水冷槽，水冷槽通过水冷盖板密封，在靶材背板的背面还开有与水冷槽连通的进水口和出水口，在靶座上与进水口和出水口对应位置分别开有进水通道和出水通道，进水通道和出水通道在与进水口和出水口对接处内置有密封隔套，在密封隔套与靶材背板连接处设有密封圈，进水通道和出水通道的另一端通过连接法兰连接外部进、出水管。

进一步地，水冷槽开设的位置与靶材位置相对应。

本发明通过在绑定有靶材的背板的背面加工多条水冷槽，通过背板直接对靶材进行冷却，冷却效果好，可快速降低靶材温度，水冷槽中的冷却水通过背板背面的进出水口进出，在靶座上与进出水口对应位置设有进出水通道，外部进、出水管与设置在靶座上的连接法兰连接，冷却水通过进出水通道与背板上的进出水口对接，进出水通道与背板上的进出水口之间通过密封隔套和密封圈密封，无需接头，每次更换靶材时，可直接将背板从靶座上取下，不需要拆卸进出水接头，从而减少对背板的损伤，提高了更换的效率。

附图说明

图1是本发明的整体结构示意图。

图2是本发明的背板结构示意图。

图3是本发明的背板截面图。

图4是本实用性的背板进出水口处结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本发明作更全面、细致地描述，但本发明的保护范围并不限于以下具体的实施例。