[发明专利]一种可调节的基片装夹机构在审
| 申请号： | 201811537517.9 | 申请日： | 2018-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN109371377A | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 舒逸;刘光斗;李赞 | 申请（专利权）人： | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411100 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 连接框架 挂钩组件 装夹机构 挂杆 圆杆 可调节 夹具 活动连接 间隙调整 生产过程 无效区域 挂钩 镀膜腔 配重 外框 装夹 统一 | ||
【权利要求书】：
1.一种可调节的基片装夹机构，其特征在于：包括上部连接框架、下部连接框架，上部连接框架、下部连接框架之间通过两根圆杆连接，在两根圆杆之间设有多个挂钩组件，所述挂钩组件包括挂杆，所述挂杆两端分别活动连接在圆杆上，在挂杆上设有多个挂钩，基片装夹在相邻的两个挂钩组件的挂钩上，整个基片装夹机构通过上部连接框架、下部连接框架安装在镀膜腔内。
2.如权利要求1所述的一种可调节的基片装夹机构，其特征在于：所述挂杆两端通过抱箍和螺栓与圆杆连接。
3.如权利要求1所述的一种可调节的基片装夹机构，其特征在于：所述上部连接框架上设有连接杆Ⅰ，连接杆Ⅰ上设有导向铜套。
4.如权利要求1所述的一种可调节的基片装夹机构，其特征在于：所述下部连接框架上设有连接杆Ⅱ，连接杆Ⅱ上设有固定销。
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