[发明专利]一种废气处理系统及方法在审

专利信息
申请号: 201811537697.0 申请日: 2018-12-15
公开(公告)号: CN111318150A 公开(公告)日: 2020-06-23
发明(设计)人: 杨森;刘亭婷;沈一春;王亚军;葛群峰 申请(专利权)人: 中天科技精密材料有限公司;江苏中天科技股份有限公司
主分类号: B01D53/78 分类号: B01D53/78;B01D53/68
代理公司: 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 代理人: 孙芬
地址: 226009 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 废气 处理 系统 方法
【说明书】:

发明提供的一种废气处理系统及方法,其中,所述一种废气处理系统,包括由下到上依次设置的液体回收组件、至少一个回收塔和至少一个碱中和塔,所述废气处理系统还包括与所述回收塔相互连通设置的进气组件、进水管组件和碱液循环组件,所述回收塔与所述碱中和塔之间还设有气体通道,所述液体回收组件包括位于回收塔底部的酸液回收箱,所述回收塔一端连接另一所述回收塔或碱中和塔,另一端与所述酸液回收箱相互贯通,所述酸液回收箱、所述回收塔及所述碱中和塔设置为一体式筒状结构,所述碱中和塔的顶部还设有风机组件。本发明通过设置至少一个的回收塔对废气中的盐酸实现收集及再利用,且通过一体化的设置,实现了节约用地,并减少了建设成本。

技术领域

本发明涉及废气处理系统设计技术领域,特别是指一种废气处理系统及方法。

背景技术

本部分旨在为权利要求书中陈述的本发明的实施方式提供背景或上下文。此处的描述不因为包括在本部分中就承认是现有技术。

半导体及光纤行业生产过程中会产生大量含有氯化氢的酸性气体,对于此类废气的处理方法大多是采用碱液洗涤塔进行处理,即采用碱液与废气中的酸性气体进行中和,使废气能够达标排放。

上述技术方案在使用过程中,废气中可回收再利用资源盐酸失去利用价值。

发明内容

鉴于以上内容,有必要提供一种改进的废气处理系统。

本发明提供的技术方案为:

一种废气处理系统,包括由下到上依次设置的液体回收组件、至少一个回收塔和至少一个碱中和塔,所述废气处理系统还包括与所述回收塔相互连通设置的进气组件、进水管组件和碱液循环组件,所述废气处理系统还包括若干气体通道,所述回收塔与所述碱中和塔之间通过气体通道连通设置,所述液体回收组件包括位于回收塔底部的酸液回收箱,所述回收塔一端连接另一所述回收塔或碱中和塔,另一端与所述酸液回收箱相互贯通,所述酸液回收箱、所述回收塔及所述碱中和塔设置为一体式筒状结构,所述碱中和塔的顶部还设有风机组件。

优选的,所述液体回收组件还包括废液收集箱与酸收集罐,所述废液收集箱与所述酸液回收箱之间通过管道连通。

优选的,所述液体回收组件还包括第一循环管道、循环泵及检测装置,所述第一循环管道两端分别与所述酸液回收箱及酸收集罐贯通设置,所述检测装置位于所述第一循环管道与所述酸液回收箱相互贯通一端,所述循环泵位于所述管道上。

优选的,所述回收塔大体为筒状结构,其包括依次排列设置的气体分布器、填料及槽式分布器,所述气体分布器、填料及槽式分布器间隔设置,所述气体分布器位于所述填料靠近所述酸液回收箱一侧。

优选的,所述回收塔包括依次设置的填料、槽式分布器、泡罩层、除雾器及喷头组件,所述填料、槽式分布器、泡罩层、除雾器及喷头组件间隔设置,其中所述填料位于所述回收塔中靠近所述酸液回收箱一侧。

优选的,所述回收塔还包括液体循环组件,所述液体循环组件包括第二循环管道及降液管道,所述第二循环管道及所述降液管道的其中一端均位于所述回收塔的底部,所述第二循环管道另外一端连接于所述回收塔的侧壁且连接处介于所述泡罩层与第二槽式分布器之间,所述降液管道另外一端与所述酸液回收箱连接设置。

优选的,所述回收塔至少设有两个,且相邻所述回收塔之间设有气体通道。

优选的,所述碱中和塔包括填料、除雾器及若干喷头组件,其中一所述喷头组件位于所述填料与所述除雾器之间与所述进水管组件相互连通设置,其中所述填料位于所述碱中和塔靠近所述气体通道一侧,所述除雾器上方还设有另一喷头组件,位于除雾器上方的喷头组件与所述碱液循环组件相互连通。

优选的,所述碱液循环组件包括碱液循环箱、碱液储罐及若干碱液循环管,所述碱液循环管分别连接所述碱液循环箱与碱液储罐或所述碱液循环箱与碱中和塔。

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