[发明专利]一种溅射阴极匀气装置在审
| 申请号： | 201811538444.5 | 申请日： | 2018-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN109306458A | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 舒逸;刘光斗;李赞 | 申请（专利权）人： | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411100 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射阴极 匀气 气管 外管 气体流量控制器 阴极挡板 匀气装置 阴极靶 两段 内管 等离子体 工艺气体流量 出气喷嘴 互不连通 进气管道 气体流量 阴极区域 出气孔 进气管 内管壁 内管套 和匀 罩住 对称 两边 外部 | ||
【权利要求书】：
1.一种溅射阴极匀气装置，包括安装在阴极靶门上的溅射阴极以及罩住溅射阴极的阴极挡板，其特征在于：在阴极挡板内侧、溅射阴极的两边沿溅射阴极长度方向，对称设有两段或两段以上的独立且互不连通的匀气管，所述匀气管由匀气外管和匀气内管组成，匀气内管套在匀气外管内，匀气内管与进气管道连接，进气管道穿过阴极靶门并与气体流量控制器连接，在匀气内管壁四周分布有出气孔，在匀气外管上沿长度方向分布有多个出气喷嘴。
2.如权利要求1所述的一种溅射阴极匀气装置，其特征在于：所述匀气内管上的出气孔在沿匀气内管长度方向不等间距分布以使进入匀气外管内的气体均匀一致。
3.如权利要求1所述的一种溅射阴极匀气装置，其特征在于：所述出气喷嘴倾斜朝向溅射阴极。
4.如权利要求1所述的一种溅射阴极匀气装置，其特征在于：设置在溅射阴极的两边匀气管接连布置并覆盖整个溅射阴极长度范围。
5.如权利要求1—4任意一项所述的一种溅射阴极匀气装置，其特征在于：在真空室内、阴极挡板外的进气管道上方设有布气屏蔽挡板。
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