[发明专利]一种动态特性测试的压电式激励装置及其工作方法

权利要求书

1.一种动态特性测试的压电式激励装置，压电式激励装置包括筒体（1）、光加热单元（4）和微结构激励单元（5），其特征是：所述筒体（1）的顶部安装有四个圆周均布的光加热单元（4），每个光加热单元（4）依次通过安装板（3）、销轴（7）和固定板（2）与筒体（1）相连接，光加热单元（4）绕销轴（7）转动，在安装板（3）与销轴（7）套装部的螺纹孔内设有紧定螺钉（8）；所述光加热单元（4）包括螺纹连接的前套筒（402）和后套筒（401），在后套筒（401）尾部中心孔内安装有平行光源（412）；所述前套筒（402）内部设有台阶孔，在前套筒（402）前端设有第一遮光板408）、第二遮光板（409）、第三遮光板（410）和第四遮光板（411），四个遮光板在前套筒（402）前端面上的投影呈圆周均布，其中第一遮光板（408）和第四遮光板（411）对称布置在靠近前套筒（402）前端处，第二遮光板（409）和第三遮光板（410）对称布置在远离前套筒（402）前端处；每个遮光板上均安装有导向轴（406），导向轴（406）穿过前套筒（402）前端面的突出部并连接在推板（405）上，在推板（405）中心处设有调节旋钮（404），调节旋钮（404）穿过推板（405）的中心孔并螺纹连接在前套筒（402）前端面的突出部上，在推板（405）和前套筒（402）前端面的突出部之间设有复位弹簧（407），复位弹簧（407）套装在用于调节遮光板位置的调节旋钮（404）上；所述筒体（1）的底板（6）上设有微结构激励单元（5），所述微结构激励单元（5）包括一个手动三轴位移台（501），在手动三轴位移台（501）的垂直溜板上安装有连接板（502），在连接板（502）上通过螺纹安装有封装压电陶瓷（505），在封装压电陶瓷（505）的顶部安装有微结构安装板（504），在微结构安装板（504）的顶部粘接有MEMS微结构（503）。

2.根据权利要求1所述的一种动态特性测试的压电式激励装置的工作方法，其特征是：首先，转动光激励单元安装板（3），旋拧前套筒（402），并调节推板（405），同时调节手动三轴位移台（501），使光激励单元（4）发射出的平行光仅能照射在MEMS微结构（503）上；其次，使用光激励单元（4）对MEMS微结构（503）进行加热，在红外测温仪器的协助下将MEMS微结构（503）加热到目标温度；然后，使用外部电源在封装压电陶瓷（505）两极间施加阶跃电压信号，封装压电陶瓷（505）由于逆压电效应会实现对MEMS微结构（503）的激励，同时使用非接触的光学测振仪器获取MEMS微结构（503）的振动响应，从而获取MEMS微结构（503）在该目标温度下的动态特性参数。