[发明专利]皮秒激光诱导石英玻璃内部裂纹实现微流控器件制备的方法有效
| 申请号： | 201811539810.9 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN109551123B | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 程亚;徐剑;李晓龙;林子杰;王振华;柴志方 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | B23K26/55 | 分类号： | B23K26/55;B23K26/0622 |
| 代理公司： | 上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙) 31215 | 代理人： | 徐筱梅;张翔 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 诱导 石英玻璃 内部 裂纹 实现 微流控 器件 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种皮秒激光诱导石英玻璃内部裂纹实现微流控器件制备的方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：
步骤1：皮秒激光辐照
将石英玻璃样品固定在一台可编程三维位移平台上，通过显微物镜将脉冲宽度为1-20ps的时域调控的皮秒激光聚焦在石英玻璃样品上，驱动位移平台运动同时启动皮秒激光辐照，在石英玻璃样品内部中直写出所需要的内含随机纳米裂纹的三维微通道图案；
步骤2：选择性化学腐蚀
将皮秒激光辐照后的石英玻璃样品放入化学腐蚀溶液中，对直写的内含随机纳米裂纹的三维微通道图案进行空间选择性腐蚀去除，进而在石英玻璃样品内部获得具有三维几何构型的微通道结构；其中，腐蚀速率对激光偏振不敏感。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的皮秒激光的重复频率为1-1000kHz，聚焦物镜的数值孔径为0.1-1.4。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的化学腐蚀溶液为80-95℃的5-20mol/L 氢氧化钾溶液或1-20% 氢氟酸溶液。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华东师范大学，未经华东师范大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811539810.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
