[发明专利]一种感光树脂组合物及其用途、一种彩色滤光片在审
申请号: | 201811541560.2 | 申请日: | 2018-12-17 |
公开(公告)号: | CN111324010A | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 王石进;孙涛;刘永祥;桑伟;任雪艳 | 申请(专利权)人: | 固安鼎材科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/004;G03F7/00;G02B5/20 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 巩克栋 |
地址: | 065500 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 感光 树脂 组合 及其 用途 彩色 滤光 | ||
本发明提供了一种感光树脂组合物及其用途、一种彩色滤光片,所述感光树脂组合物包括改性光引发剂、碱可溶性树脂和单体,所述改性光引发剂由二苯甲酮主体基团与含氢硅油取代基团连接而成;所述感光树脂组合物用于彩色滤光片;所述彩色滤光片包括光固化后的所述感光性树脂组合物。本发明所提供的感光树脂组合物在曝光工艺中形成的倒角的固化程度较高,不容易被显影液冲断,能够得到角度适宜且表面平整的坡角。
技术领域
本发明涉及光刻胶技术领域,特别涉及彩色光刻胶技术领域,尤其涉及一种感光树脂组合物及其用途、一种彩色滤光片。
背景技术
彩色滤光片是液晶显示面板的重要组件,通过彩色滤光片液晶显示器可以实现视觉上的彩色化。用来制备彩色滤光片的彩色光刻胶,其性能指标直接影响到液晶面板的显示效果。彩色滤光片的制备主要利用了光引发剂的光引发固化机理,光固化技术是一种新型、先进的材料表面处理技术,具有高效、优质、环保、节能等特性。
彩色滤光片的制备包括红绿蓝RGB三部分,但每一部分工艺基本相同,其制作工艺一般均包括:涂胶、真空预处理、前烘、曝光、显影、后烘等。其中在曝光工艺中,光引发剂在深紫外光DUV或极紫外光EUV的作用下,发生固化反应,但是由于紫外光是从上部照射的,所以会出现表面固化程度比下部高。尤其是在掩膜版图案的边缘部分,在显影工艺的冲刷下会出现倒梯形形状的结构,倒梯形状结构会在后烘工艺中在高温下软化熔融并附着到玻璃基板上,形成规则的正梯形,即有一定角度的坡角。形成的坡角对彩色滤光片的后续工艺,如ITO溅射工艺等有着很重要的影响。但大多数的感光树脂组合物在显影工艺中形成倒梯形的上角部分仍旧存在聚合程度不够、固化程度不高的问题,在显影工艺中发生断裂,形成不完整的倒梯形结构。此不完整的倒梯形结构,经过后烘工艺后会形成较大的坡角,超出彩色滤光片的规格。
CN102778813A公开了一种感光树脂组合物,其包括5%~45%碱可溶性树脂、0.5%~18%含乙烯基不饱和双键的感光性单体、4%~15%颜料、0.1%~3%光起始剂、40%~64.4%溶剂、0.1%~7%聚合型硅烷偶联剂以及0.1%~1%助剂,所述感光树脂组合物可以用于制作COA结构面板,采用所述感光树脂组合物作为彩色光阻剂,显影后可以得到平滑的边缘和较小的坡度角,提供了在彩色层上制作连续的ITO薄膜的条件,但是仍存在显影工艺中形成的倒梯形三角的固化程度不高的问题,经过显影液的冲洗,容易断裂,反而形成较大的坡角,与目标产物相悖。
CN102650827A公开了一种感光树脂组合物及应用其的液晶显示器,解决了现有感光树脂组合物的表面平整度及附着力较差,导致液晶显示器的显示性能受影响的问题。所述感光树脂组合物由于采用了重量百分比为0.005%~10%的附着力促进剂,且该附着力促进剂为硅烷偶联剂与酸性酯类附着力促进剂的组合,使得该组合物的附着力性能获得提升,并且,由于采用了重量百分比为0.01%~2.5%的润湿流平剂,使得该组合物的表面平整度性能获得提升,但是同样存在经曝光后形成的倒梯形三角的固化程度不高的缺陷,是最后形成的图案边缘的坡角的角度过大,超出预期的规格。
CN104423169B一种碱可溶性树脂、感光性树脂组合物、彩色滤光片及其制造方法、以及液晶显示装置。该感光性树脂组合物包括特定的碱可溶性树脂、含乙烯性不饱合基团的化合物、光引发剂以及有机溶剂。该感光性树脂组合物由于含有特定的碱可溶性树脂,故兼具优异的显影性、高精细度的图案直线性及轮廓角,但是所述感光树脂组合物在显影工艺中形成的倒梯形三角区域聚合程度不高,容易被显影液冲断,形成表面粗糙且较大角度的坡角。
因此,本领域亟待开发一种感光树脂组合物,使所述感光树脂组合物经显影工艺后形成的倒梯形三角区域固化程度高,不容易被显影液冲掉,在后烘之后能够形成良好的坡度(例如30°~60°),且表面平整。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明的目的之一在于提供一种感光树脂组合物,所述感光树脂组合物包括改性光引发剂、碱可溶性树脂和单体;
所述改性光引发剂具有式(I)的结构;
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