[发明专利]光脉冲系统

权利要求书

1.一种与投影光学系统一起使用的光脉冲系统，所述光脉冲系统包括：

光源，其包括被配置为发射激光脉冲的泵浦激光器、被配置为向所述泵浦激光器提供电流的电流驱动器以及被配置为将所述激光脉冲转换为光脉冲的转换元件；

传输元件，其被配置为传输有效光脉冲的第一部分和第二部分，所述第一部分被传输到所述投影光学系统；以及

反馈系统，其包括：

检测器，其被配置为接收所述有效光脉冲的所述第二部分并且确定所述有效光脉冲的能量的总量度；以及

控制单元，其被配置为接收所述有效光脉冲的所述能量的总量度，并且作为响应，通过调节从所述电流驱动器到所述泵浦激光器的所述电流来控制后续光脉冲的幅度。

2.根据权利要求1所述的光脉冲系统，其中所述反馈系统还包括比较器，所述比较器用于接收阈值和所述有效光脉冲的所述能量的总量度，并且当所述总量度超过所述阈值时使所述控制单元停止所述有效光脉冲，从而控制所述有效光脉冲的宽度。

3.根据权利要求2所述的光脉冲系统，其中所述控制单元被进一步配置为设定所述阈值。

4.如权利要求3所述的光脉冲系统，还包括可编程数模转换器，所述可编程数模转换器被配置为从所述控制单元接收所述阈值并且将所述阈值传送到所述比较器。

5.根据权利要求1所述的光脉冲系统，其中所述传输元件包括部分透射镜，所述部分透射镜被配置为将所述有效光脉冲的所述第一部分反射到所述投影光学系统并且将所述有效光脉冲的所述第二部分传输到所述反馈系统。

6.根据权利要求1所述的光脉冲系统，其中所述检测器包括：

光电二极管，其被配置为接收所述有效光脉冲的所述第二部分并将其转换为电流；以及

积分器，其耦合到所述光电二极管以接收所述电流并且对所述电流进行积分以确定所述有效光脉冲的所述能量的总量度。

7.根据权利要求6所述的光脉冲系统，其中所述控制单元被进一步配置为在所述有效光脉冲结束时重置所述积分器。

8.根据权利要求1所述的光脉冲系统，还包括模数转换器，所述模数转换器被配置为接收所述有效光脉冲的能量的总量度并且使所述控制单元根据所述有效光脉冲的所述能量的总量度控制所述有效光脉冲的幅度。

9.根据权利要求1所述的光脉冲系统，其中所述光源的所述转换元件包括分色滤光器和磷光体轮，所述磷光轮被配置为从所述泵浦激光器接收激光脉冲并且产生用于所述投影光学系统的着色光脉冲。

10.根据权利要求1所述的光脉冲系统，其中所述光源的所述转换元件包括分色滤光器和静态磷光体元件，所述静态磷光体元件被配置为从所述泵浦激光器接收激光脉冲并且产生用于所述投影光学系统的着色光脉冲。

11.根据权利要求1所述的光脉冲系统，其中所述控制单元被进一步配置为接收位平面数据并且根据所述位平面数据控制所述有效光脉冲的宽度。

12.根据权利要求1所述的光脉冲系统，其中所述控制单元被进一步配置为接收位平面数据并且根据所述位平面数据控制所述有效光脉冲和所述后续光脉冲的幅度。

13.根据权利要求3所述的光脉冲系统，其中所述控制单元被进一步配置为接收位平面数据并且根据所述位平面数据设置所述阈值。

14.一种控制由光源发射的脉冲的能量的方法，包括：

激活所述光源以发射有效光脉冲；

测量所述有效光脉冲的一部分以确定所述有效光脉冲的能量的总量度；

去激活所述光源以结束所述有效光脉冲；以及

响应于所述有效光脉冲的所述能量的总量度控制后续光脉冲的幅度。