[发明专利]一种基于电润湿驱动的反射镜式光导航器件及方法

权利要求书

1.一种基于电润湿驱动的反射镜式光导航器件，其特征在于：包括一个顶端具有开孔的容器（2）、环形圈（11）和反射镜（13），开孔与环形圈（11）密封相连，在环形圈（11）旁边固定有一个基座（12），反射镜（13）的底部中心与基座（12）铰接，反射镜（13）的一侧放置在环形圈（11）上，容器（2）的腔体底部嵌入有第一、第二、第三ITO电极（5，6，7），ITO电极的上表面涂有介质层（4），在第一、第三ITO电极（5，7）上方注入第二液体（9），在第二ITO电极（6）的上方注入第一液体（8），在第一液体（8）上覆盖有液体薄膜（10），当同时外加电压于ITO电极时，由于电润湿效应，液体薄膜（10）推动反射镜（13）使其发生倾斜并形成一定的倾斜角。

2.根据权利要求1所述的一种基于电润湿驱动的反射镜式光导航器件，其特征在于：所述第一液体（8）和所述第二液体（9）互不相溶，所述第一液体（8）为非导电液体，所述第二液体（9）为导电液体，所述液体薄膜（10）与所述第一液体（8）互不相溶。

3.根据权利要求1所述的一种基于电润湿驱动的反射镜式光导航器件，其特征在于：所述基座（12）的顶部和所述环形圈（11）的顶部位于同一水平面上。

4.根据权利要求1所述的一种基于电润湿驱动的反射镜式光导航器件，其特征在于：所述介质层（4）包括疏水层和绝缘层，绝缘层位于疏水层的下方。

5.根据权利要求2所述的一种基于电润湿驱动的反射镜式光导航器件，其特征在于：所述第一液体（8）和所述第二液体（9）的密度相近。

6.根据权利要求1所述的一种基于电润湿驱动的反射镜式光导航器件，其特征在于：所述第一ITO电极（5）和所述第二ITO电极（6）的尺寸相同。

7.一种基于电润湿驱动的反射镜式光导航方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1.在一个顶端具有开孔的容器（2）的底部上嵌入第一、第二、第三ITO电极（5，6，7），在ITO电极上旋涂上介质层（4）；

S2.在容器（2）的开孔处安装环形圈（11），向容器（2）中依次注入适量的第二液体（9）和第一液体（8），使第二液体（9）和第一液体（8）充满容器（2）的腔体且第二液体（9）处在腔体的两侧；

S3.在环形圈（11）注入液体，形成液体薄膜（10）；

S4.在容器（2）的上表面安装基座（12），将反射镜（13）铰接在基座上（12），使反射镜（13）能够水平的放置在环形圈（11）上；

S5.在第一ITO电极（5）、 第三ITO电极（7）外加电压，第二ITO电极（6）接地，由于电润湿效应，腔体内两侧的第二液体（9）会向中间涌动，挤压第一液体（8），使液体薄膜（10）向上发生形变，推动反射镜（13）形成倾斜角；当入射光束照射在反射镜（13）上时，实现光束导航。

8.根据权利要求7所述的一种基于电润湿驱动的反射镜式光导航方法，其特征在于：所述介质层（4）包括疏水层和绝缘层，绝缘层位于疏水层的下方。

9.根据权利要求7所述的一种基于电润湿驱动的反射镜式光导航方法，其特征在于：所述第一液体（8）和所述第二液体（9）的密度相近。

10.根据权利要求7所述的一种基于电润湿驱动的反射镜式光导航方法，其特征在于：所述第一液体（8）和所述第二液体（9）互不相溶，所述第一液体（8）为非导电液体，所述第二液体（9）为导电液体，所述液体薄膜（10）与所述第一液体（8）互不相溶。