[发明专利]倒金字塔绒面及太阳能电池的制备方法

权利要求书

1.一种倒金字塔绒面制备方法，适于链式反应设备，其特征在于，包括：

步骤a.将硅片浸入含Ag⁺、HF以及HNO₃的预处理溶液中进行银沉积及表面织构化，在所述硅片表面形成含银颗粒的纳米级腐蚀坑；

步骤b.将步骤a得到的所述硅片使用硅腐蚀液处理，去除所述硅片表面的所述银颗粒；

步骤c.将步骤b得到的所述硅片使用碱性溶液处理，将所述纳米级腐蚀坑扩大为亚微米倒金字塔腐蚀坑。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述硅片表面的所述银颗粒的粒径为60～130nm。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述预处理溶液中，所述Ag⁺的浓度为0.1～10mg/L，所述HF的浓度为1～100g/L，所述HNO₃的浓度为4～400g/L，所述HNO₃与所述HF的物质的量之比为1:0.3～3；

和/或，步骤a中，反应温度为20～35℃，反应时间为30～120s。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述硅腐蚀液为硝酸溶液或氨水；

可选地，所述硅腐蚀液为质量浓度为40～67％的硝酸溶液。

5.根据权利要求1或4所述的制备方法，其特征在于，步骤b中，反应温度为40～80℃，反应时间为20～50s。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述亚微米倒金字塔腐蚀坑的尺寸为0.6～1.5μm。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述碱性溶液为无机碱溶液。

8.根据权利要求1、6和7中任一项所述的制备方法，其特征在于，所述碱性溶液为碱浓度为1～100mmol/L的、含NaOH和/或KOH的溶液；

和/或，步骤c中，反应温度为20～30℃，反应时间为20～200s。

9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，还包括：

步骤d.将步骤c得到的所述硅片进行酸洗，去除所述硅片表面的氧化物。

10.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：对采用如权利要求1～9任一项所述的制备方法制备的具有倒金字塔绒面的所述硅片进行加工。