[发明专利]一种太阳能电池扩散PN结的制备方法在审
| 申请号： | 201811546704.3 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN109560170A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 崔美丽;沈健锋;赵福祥;崔钟亨 | 申请（专利权）人： | 韩华新能源（启东）有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/223;H01L21/02 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 226200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 太阳能电池 硅片表面 扩散 沉积 清洗 光电转换效率 氮气携带 高温环境 过程整合 扩散炉管 清洗过程 杂质清洗 有效地 氧气 电池 | ||
1.一种太阳能电池扩散PN结的制备方法，其特征在于，所述制备方法至少包括设置在沉积PN结之前的清洗步骤，所述清洗步骤为在无氧气存在的环境下，采用氮气携带POCl3进入扩散炉管中进行硅片表面的杂质清洗。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池扩散PN结的制备方法，其特征在于，所述清洗步骤中还需通入纯氮气，携带有POCl3的氮气与所述纯氮气的流量比为1:10-18。
3.根据权利要求2所述的一种太阳能电池扩散PN结的制备方法，其特征在于，所述携带有POCl3的氮气与所述纯氮气的流量比为1:13.5。
4.根据权利要求1所述的一种太阳能电池扩散PN结的制备方法，其特征在于，所述清洗步骤中的清洗时间为大于等于1min，清洗温度大于等于600℃。
5.根据权利要求4所述的一种太阳能电池扩散PN结的制备方法，其特征在于，所述清洗步骤中的清洗时间为大于等于3min，清洗温度大于等于700℃。
6.根据权利要求5所述的一种太阳能电池扩散PN结的制备方法，其特征在于，所述清洗步骤中的清洗时间为大于等于5min，清洗温度为750-900℃。
7.根据权利要求1所述的一种太阳能电池扩散PN结的制备方法，其特征在于，所述制备方法依次包括进舟、升温、清洗、吹扫、预沉积、推进、降温、出舟。
8.根据权利要求7所述的一种太阳能电池扩散PN结的制备方法，其特征在于，所述升温步骤中需通入纯氮气并驱除氧气。
9.根据权利要求7所述的一种太阳能电池扩散PN结的制备方法，其特征在于，所述吹扫步骤为在所述扩散炉管内通入纯氮气以驱除管内的POCl3。
10.根据权利要求1-9任意一项所述的一种太阳能电池扩散PN结的制备方法，其特征在于，所述POCl3所用的原料为POCl3液态源。
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
