[发明专利]一种采用源漏短接减少HEMT热阻测量自激振荡的方法和装置

权利要求书

1.一种采用源漏短接减少HEMT热阻测量自激振荡的装置，其特征在于：

包括有：热阻测试仪、防自激电路、测试平台、被测HEMT器件；

所述热阻测试仪包括计算机、采集卡、栅压电源、测试电流源、栅压电源/测试电流源切换开关、工作电源开关、工作电源及快速短路开关；

所述防自激电路由一块具有防自激振荡设计的PCB电路板构成，将被测HEMT器件安装在电路中，可减少HEMT器件自激振荡的发生，并由导线引出，与热阻测试仪相连；

所述工作电源经工作电源开关控制，通过防自激电路为被测器件提供工作电压和电流，栅压电源和测试电流源通过栅压电源/测试电流源切换开关为被测器件提供栅极电压或测试电流，采集卡用于采集被测器件的电学温敏参数，计算机将采集到的温敏参数进行处理，得到瞬态响应曲线和热阻构成信息；

所述快速短路开关是一种由MOS器件构成的快速开关电路，可实现被测HEMT器件源漏的快速短路；

所述测试平台由导热系数大于200W/m•K的材料制成的高导热恒温平台、水箱及其相应的导热液循环和控制系统构成。

2.一种采用源漏短接减少HEMT热阻测量自激振荡的方法，其特征在于：

测量时将被测HEMT器件安装在防自激电路中，被测HEMT器件的漏源两个电极经导线与热阻测试仪的工作电源开关和快速短路开关连接，工作电源与工作电源开关连接并由其控制；将被测HEMT器件的栅源两个电极经导线与热阻测试仪的栅压电源/测试电流源切换开关、采集卡连接，栅极电源和测试电流源与栅压电源/测试电流源切换开关连接并由其控制；

防自激电路固定在测试平台上，与热阻测试仪相连，打开测试软件设置测试平台温度T0、工作电压Vds、栅极电压Vgs、测试电流Itest参数，开始测量程序，由计算机发出指令进入加热阶段；在加热阶段，由计算机控制工作电源开关和栅压电源/测试电流源切换开关，将工作电压Vgs加载在被测HEMT器件源漏电极两端，栅极电压Vgs加载在被测HEMT器件栅漏电极两端，使器件处于加热状态，并达到热平衡；在器件达到热平衡状态后，由计算机发出指令进入测量阶段；在测量阶段开始后，由计算机控制工作电源开关和栅压电源/测试电流源切换开关，切断被测HEMT器件源漏电极两端的工作电源Vgs，将被测HEMT器件栅源电极两端的栅极电压切换至测试电流源，同时由快速短路开关将被测HEMT器件的源漏电极两端快速短接，并由计算机控制采集卡采集被测HEMT器件栅极电压随时间的变化；最后经过计算机处理采集结果得到瞬态响应曲线和热阻构成。

3.根据权利要求2所述的一种采用源漏短接减少HEMT热阻测量自激振荡的方法，其特征在于：

被测HEMT器件漏源电压最大可达到50V。

4.根据权利要求2所述的一种采用源漏短接减少HEMT热阻测量自激振荡的方法，其特征在于：

所述的测量阶段的转换时间可达到5us以内。