[发明专利]物理量传感器、复合传感器、电子设备和移动物体在审
| 申请号： | 201811547213.0 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN109990772A | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 泷泽照夫 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 玉昌峰;纪秀凤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 物理量传感器 结构体 复合传感器 电子设备 移动物体 弹性部 陀螺仪传感器 尺寸波动 固定驱动 折叠 减小 梁部 检测 | ||
1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：
基板；
固定部，相对于所述基板固定；
弹性部，连接至所述固定部，具有通过折叠部连接的内侧梁和外侧梁；以及
结构体，在所述基板的俯视观察中与所述外侧梁相对，
在所述基板的俯视观察中，所述外侧梁位于所述内侧梁和所述结构体之间，
当将所述外侧梁和所述结构体的间隔设为T1，
将所述内侧梁和所述外侧梁彼此的间隔设为T2时，
在T2＜T1的情况下，在所述外侧梁的所述结构体侧设置有与所述外侧梁相对的第一梁。
2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，
当将所述外侧梁和所述内侧梁的间隔设为T3时，满足0.8＜T3/T2＜3.0。
3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其中，
满足0.8＜T3/T2≤2.0。
4.根据权利要求3所述的物理量传感器，其中，
满足0.9＜T3/T2≤1.1。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的物理量传感器，其中，
满足T1≤10μm。
6.根据权利要求5所述的物理量传感器，其中，
当设梁的深度为D1时，
满足20μm≤D1≤30μm。
7.根据权利要求6所述的物理量传感器，其中，
当设梁的宽度为W1时，
满足0＜W1≤10μm。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的物理量传感器，其中，
所述弹性部以及所述结构体设置在传感器元件中，
所述传感器元件是能够检测角速度的角速度传感器元件。
9.一种复合传感器，其特征在于，包括：
权利要求8所述的物理量传感器；以及
加速度传感器。
10.一种电子设备，其特征在于，包括：
权利要求1至8中任一项所述的物理量传感器；以及
控制部，基于从所述物理量传感器输出的检测信号进行控制。
11.一种移动物体，其特征在于，包括：
权利要求1至8中任一项所述的物理量传感器；以及
姿势控制部，基于所述物理量传感器输出的检测信号进行姿势的控制。
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