[发明专利]一种新型晶片自动清洗机

权利要求书

1.一种新型晶片自动清洗机，其特征在于：包括有机台(1)，所述机台(1)上设有清洗槽(2)和超声波发生器(7)，所述清洗槽(2)内设有清洗网杯组件(3)、加热器(4)和超声波换能器(71)，所述清洗网杯组件(3)包括转盘(31)和若干清洗网杯(32)，所述若干清洗网杯(32)设于转盘(31)四周、并通过连接杆(33)与转盘(31)连接一体；所述机台(1)上还设有位于清洗槽(2)外的驱动电机(5)和控制电路(6)，所述驱动电机(5)的转动轴伸入清洗槽(2)内，且所述转盘(31)安装在驱动电机(5)的转动轴上；所述加热器(4)、驱动电机(5)和超声波发生器(7)均与控制电路(6)导通连接，所述超声波发生器(7)的输出端连接超声波换能器(71)。

2.根据权利要求1所述新型晶片自动清洗机，其特征在于：所述驱动电机(5)安装在位于清洗槽(2)下方的机台(1)上，且其转动轴垂直向上地伸入清洗槽(2)内；所述转盘(31)水平设于清洗槽(2)内，并安装在驱动电机(5)的转动轴上。

3.根据权利要求1或2所述新型晶片自动清洗机，其特征在于：所述若干清洗网杯(32)通过连接杆(33)呈环形阵列地设置在转盘(31)外围四周。

4.根据权利要求3所述新型晶片自动清洗机，其特征在于：所述连接杆(33)的一端焊接在转盘(31)上，另一端设有固定圈(34)，所述若干清洗网杯(32)一对一地安装在一根连接杆(33)的固定圈(34)上，且所述转盘(31)、连接杆(33)和固定圈(34)位于同一水平面上，所述若干清洗网杯(32)位于同一水平面上。

5.根据权利要求1或2或3或4所述新型晶片自动清洗机，其特征在于：所述清洗槽(2)内还设有水温传感器(8)，所述水温传感器(8)与控制电路(6)导通连接，并与加热器(4)和控制电路(6)共同构成水温控制系统。

6.根据权利要求1或2或3所述新型晶片自动清洗机，其特征在于：所述机台(1)还上设有调速器(9)，所述调速器(9)与控制电路(6)导通连接，且所述驱动电机(5)是变频电机。