[发明专利]一种粉末冶金AlSnCu合金靶材及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201811550045.0 申请日: 2018-12-18
公开(公告)号: CN111334762A 公开(公告)日: 2020-06-26
发明(设计)人: 黄树晖;朱宝宏;张永安;刘红伟;熊柏青;李志辉;李锡武;闫丽珍;闫宏伟;温凯 申请(专利权)人: 有研工程技术研究院有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C22C21/00;C22C1/04;B22F3/15
代理公司: 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 代理人: 刘徐红
地址: 101407 北京市怀*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 粉末冶金 alsncu 合金 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种粉末冶金AlSnCu合金靶材,其特征在于:该合金靶材中,锡含量为15~25wt.%,铜含量为1.5~3.5wt.%,其余为铝。

2.根据权利要求1所述的粉末冶金AlSnCu合金靶材,其特征在于:该合金靶材中,杂质含量≤0.5wt.%。

3.根据权利要求1或2所述的粉末冶金AlSnCu合金靶材的制备方法,包括以下步骤:

(1)制粉:将铝、铜和锡按比例配备合金原料,采用喷粉制备出AlSnCu合金粉末,并进行筛分;

(2)包套:将得到的粉末置入纯铝包套,并焊接封装,留有排气管道;

(3)真空除气:对包套封装的AlSnCu合金粉末进行真空除气;

(4)分段热等静压:对包套进行分段热等静压,先在125~225℃之间进行不低于100MPa的热等静压,不少于2小时;然后在460±5℃进行不低于100MPa的热等静压,不少于4小时;热等静压完成后的出炉温度不高于200℃;

(5)机械加工或者机械加工和变形加工:将所得的锭坯进行机械加工,或者先进行机械加工,再进行小变形量的挤压或者轧制,得到粉末冶金AlSnCu合金靶材。

4.根据权利要求3所述的粉末冶金AlSnCu合金靶材的制备方法,其特征在于:筛分后,得到粒径为50~100μm的合金粉末。

5.根据权利要求3所述的粉末冶金AlSnCu合金靶材的制备方法,其特征在于:所述的真空除气在220~225℃温度下进行,直至压强低于5×10-3Pa,并且保持至少2小时稳定。

6.根据权利要求3所述的粉末冶金AlSnCu合金靶材的制备方法,其特征在于:所述的挤压或者轧制,挤压比小于10,轧制变形率低于60%。

7.根据权利要求6所述的粉末冶金AlSnCu合金靶材的制备方法,其特征在于:所述的挤压或者轧制的温度为200~225℃。

8.根据权利要求3所述的粉末冶金AlSnCu合金靶材的制备方法,其特征在于:制备的粉末冶金AlSnCu合金靶材的相对密度≥98%。

9.根据权利要求3所述的粉末冶金AlSnCu合金靶材的制备方法,其特征在于:制备的粉末冶金AlSnCu合金靶材中,锡相颗粒的长向和宽向不超过50μm,厚度不超过12μm。

10.根据权利要求3所述的粉末冶金AlSnCu合金靶材的制备方法,其特征在于:制备的粉末冶金AlSnCu合金靶材中,锡和铜元素分布均匀,任意位置与名义成分偏差低于5%。

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