[发明专利]一种粉末冶金AlSnCu合金靶材及其制备方法在审
申请号: | 201811550045.0 | 申请日: | 2018-12-18 |
公开(公告)号: | CN111334762A | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 黄树晖;朱宝宏;张永安;刘红伟;熊柏青;李志辉;李锡武;闫丽珍;闫宏伟;温凯 | 申请(专利权)人: | 有研工程技术研究院有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C22C21/00;C22C1/04;B22F3/15 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 刘徐红 |
地址: | 101407 北京市怀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 粉末冶金 alsncu 合金 及其 制备 方法 | ||
1.一种粉末冶金AlSnCu合金靶材,其特征在于:该合金靶材中,锡含量为15~25wt.%,铜含量为1.5~3.5wt.%,其余为铝。
2.根据权利要求1所述的粉末冶金AlSnCu合金靶材,其特征在于:该合金靶材中,杂质含量≤0.5wt.%。
3.根据权利要求1或2所述的粉末冶金AlSnCu合金靶材的制备方法,包括以下步骤:
(1)制粉:将铝、铜和锡按比例配备合金原料,采用喷粉制备出AlSnCu合金粉末,并进行筛分;
(2)包套:将得到的粉末置入纯铝包套,并焊接封装,留有排气管道;
(3)真空除气:对包套封装的AlSnCu合金粉末进行真空除气;
(4)分段热等静压:对包套进行分段热等静压,先在125~225℃之间进行不低于100MPa的热等静压,不少于2小时;然后在460±5℃进行不低于100MPa的热等静压,不少于4小时;热等静压完成后的出炉温度不高于200℃;
(5)机械加工或者机械加工和变形加工:将所得的锭坯进行机械加工,或者先进行机械加工,再进行小变形量的挤压或者轧制,得到粉末冶金AlSnCu合金靶材。
4.根据权利要求3所述的粉末冶金AlSnCu合金靶材的制备方法,其特征在于:筛分后,得到粒径为50~100μm的合金粉末。
5.根据权利要求3所述的粉末冶金AlSnCu合金靶材的制备方法,其特征在于:所述的真空除气在220~225℃温度下进行,直至压强低于5×10-3Pa,并且保持至少2小时稳定。
6.根据权利要求3所述的粉末冶金AlSnCu合金靶材的制备方法,其特征在于:所述的挤压或者轧制,挤压比小于10,轧制变形率低于60%。
7.根据权利要求6所述的粉末冶金AlSnCu合金靶材的制备方法,其特征在于:所述的挤压或者轧制的温度为200~225℃。
8.根据权利要求3所述的粉末冶金AlSnCu合金靶材的制备方法,其特征在于:制备的粉末冶金AlSnCu合金靶材的相对密度≥98%。
9.根据权利要求3所述的粉末冶金AlSnCu合金靶材的制备方法,其特征在于:制备的粉末冶金AlSnCu合金靶材中,锡相颗粒的长向和宽向不超过50μm,厚度不超过12μm。
10.根据权利要求3所述的粉末冶金AlSnCu合金靶材的制备方法,其特征在于:制备的粉末冶金AlSnCu合金靶材中,锡和铜元素分布均匀,任意位置与名义成分偏差低于5%。
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