[发明专利]基于离子束镀膜的液体管路温度传感器及其制备方法

权利要求书

1.基于离子束镀膜的液体管路温度传感器，包括测温元件和电连接器(6)，其特征在于，在保护壳(4)内部置入了两片测温元件(2)，测温元件(2)包括基片(10)、附在基片上的电阻丝栅膜(11)、焊盘(12)、保护膜(13)、玻璃层(14)、引线(15)，用导线(5)将测温元件(2)的引线(15)引出，并且与电连接器(6)焊接；用环氧树脂(3)将保护壳(4)内的空腔灌封；保护壳(4)的前端探头直径由一种较大的直径变径为一种较小的直径，并在变径处进行倒角。

2.如权利要求1所述的基于离子束镀膜的液体管路温度传感器，其特征在于，所述基片(10)材料为Al₂O₃陶瓷；所述电阻丝栅膜(11)材料为Pt；所述保护膜(13)材料为SiO_xN_y；所述引线(15)材料为Ag或Au。

3.如权利要求1所述的基于离子束镀膜的液体管路温度传感器，其特征在于，保护壳(4)的外螺纹退刀槽内按照一定的光洁度加工，并在退刀槽内倒角。

4.如权利要求1所述的基于离子束镀膜的液体管路温度传感器，其特征在于，在液体管路温度传感器安装在液体管路的安装座(8)上时，保护壳(4)的外螺纹退刀槽内置入密封圈(7)，有利于液体管路温度传感器在液体管路安装座上的密封。

5.如权利要求1所述的基于离子束镀膜的液体管路温度传感器，其特征在于，保护壳(4)材料为06Cr19Ni10不锈钢，并对外壳表面进行镀镉钝化或者不锈钢钝化的腐蚀防护处理。

6.如权利要求1所述的基于离子束镀膜的液体管路温度传感器，其特征在于，测温元件(2)的制备方法，包括如下步骤：

第1步、清洗基片：超声清洗Al₂O₃陶瓷基片；

第2步、预处理基底表面：对Al₂O₃陶瓷基片表面进行离子束轰击二次清洗；

第3步、离子束溅射制作Pt导电薄膜：在预处理过的Al₂O₃陶瓷基片表面采用离子束溅射的方式沉积一层Pt导电薄膜；

第4步、光刻制作Pt电阻丝栅膜：在Pt导电薄膜表面用匀胶机均匀旋涂上正性光刻胶，接下来用掩模板通过紫外曝光机进行曝光，然后使用显影液进行显影，再利用离子束刻蚀的方法，刻蚀掉光刻胶覆盖图形以外多余的Pt膜层，用无水乙醇超声波清洗去除掉覆盖的光刻胶，得到Pt电阻丝栅膜层；

第5步、离子束溅射制作保护膜：在焊盘以外的部分采用离子束溅射的方式沉积一层SiO_xN_y保护膜覆盖住Pt电阻丝栅膜层；

第6步、焊接引线：将两根Ag或Au引线通过焊接的方式分别从两个焊盘处引出；

第7步、烧结玻璃层：用玻璃烧结料将焊盘与引线固定。