[发明专利]智能栈板

说明书

一种智能栈板，包含栈板座及感测装置。所述感测装置包括至少一设置在所述栈板座上的感测器。通过在所述栈板座上设置所述感测装置，能在所述智能栈板承载物件的运送过程中，即时侦测所述栈板座所承受的重量状态或通过远端监控定位所述栈板座的位置资讯。

技术领域

本发明涉及一种载具，特别是涉及一种能运送物件的智能栈板。

背景技术

现今科技产品日趋精密，因此对于运送过程中的保护要求也日益提高。例如半导体制程中所使用的晶圆，其在半导体厂外的外界环境中进行晶圆运送时，一般是将晶圆放置在一洁净基板容器，例如一前开式晶圆运送盒(front opening shipping box，FOSB)中，而在运送多个洁净基板容器时，则通常是通过一栈板承载来承载所述洁净基板容器。

然而，现有的栈板都不具有保护或缓冲结构，以及监测或监控功能，无法提供足够的保护，也无法让搬运人员或运送人员确认承载的晶圆的状态，且在通过该栈板承载所述洁净基板容器进行运送的过程中，常因碰撞等因素影响晶圆的质量，因此，随时侦测并管控在运送过程中该栈板承载所述洁净基板容器的状态是必要的。

发明内容

本发明的目的在于提供一种智能栈板。

本发明智能栈板包含栈板座及感测装置，所述感测装置包括至少一设置在所述栈板座上的感测器。

本发明智能栈板，所述感测装置包括多个感测器。

本发明智能栈板，所述感测器包括压力感测器。

本发明智能栈板，所述感测器包括位置感测器。

本发明智能栈板，所述感测器包括光电感测器。

本发明智能栈板，所述感测装置还包括设置在所述栈板座上的重量提示器，所述压力感测器设置在所述栈板座的底部并电连接所述重量提示器，而将感测到的所述栈板座的重量状态显示于所述重量提示器，或由所述重量提示器提示。

本发明智能栈板，所述栈板座包括基体，及设在所述基体上的支撑模组。

本发明智能栈板，所述支撑模组包括防震片。

本发明智能栈板，所述支撑模组包括两相间隔设置的防震片，及多个阵列位于所述防震片之间的防震块。

本发明智能栈板，所述每一防震片具有内层、外层，及位于所述内层与所述外层之间的多孔结构。

本发明智能栈板，所述栈板座还包括多个由所述基体的上表面凹陷的凹槽，及多个分别设置在所述凹槽中用于支撑所述支撑模组的防震件。

本发明智能栈板，所述防震件是为防震胶块。

本发明智能栈板，所述防震件是为螺旋状防震器。

本发明智能栈板，所述防震件是由多个防震胶块与多个螺旋状防震器分别交互设置在所述凹槽中。

本发明智能栈板，所述螺旋状防震器朝同方向设置。

本发明智能栈板，所述防震块是由吸震材料制成。

本发明智能栈板，所述吸震材料为硅胶。

本发明智能栈板，所述防震片是由聚丙烯制成。

本发明智能栈板，还包含辨识手段。

本发明智能栈板，所述辨识手段是为条码或无线射频辨识标签。

本发明智能栈板，还包含用于将所述感测装置感测到的资料输出的传输装置，所述传输装置与所述感测装置电连接。

本发明智能栈板，所述传输装置是无线传输装置。