[发明专利]一种激光诱导空泡双面清洗超薄零件的装置与方法

权利要求书

1.一种激光诱导空泡双面清洗超薄零件的装置，包括超薄零件（109）和控制器（106），其特征在于，所述超薄零件（109）固定安装在玻璃容器（108）内，所述玻璃容器（108）设置在工作台上，所述玻璃容器（108）在所述工作台的作用下能够在所述超薄零件（109）所在的平面上左右移动；所述玻璃容器（108）的两侧对称设有第一振镜（107）和第二振镜（105），所述控制器（106）用来控制所述第一振镜（107）和所述第二振镜（105）的摆动位置，所述第一振镜（107）反射的光束和所述第二振镜（105）反射的光束对称入射到所述超薄零件（109）同一位置点的两侧。

2.根据权利要求1所述的一种激光诱导空泡双面清洗超薄零件的装置，其特征在于，所述玻璃容器（108）内盛放的介质为水。

3.根据权利要求1所述的一种激光诱导空泡双面清洗超薄零件的装置，其特征在于，激光器（101）产生的主激光（201）通过第一反射镜（102）反射给分光镜（103），分光镜（103）分出的第一激光束（202）经过第一振镜（107）入射到超薄零件的一侧，分光镜（103）分出的第二激光束（203）通过第二反光镜（104）反射到第二振镜（105）后入射到超薄零件的另一侧。

4.一种利用权利要求3所述的激光诱导空泡双面清洗超薄零件的装置进行激光清洗的方法，包括如下步骤：

设置激光器，通过分光镜，将激光分成等量的两个光束；其中一个光束经过所述第一振镜反射后能够入射到放置在水中超薄零件其中一侧的表面上，另外一个光束经过所述第二振镜反射后能够入射到放置在水中超薄零件另外一侧的表面上；

控制器分别控制所述第一振镜及所述第二振镜的摆动位置，实现第一振镜反射的光束和所述第二振镜反射的光束对称入射到所述超薄零件同一位置点的两侧；

超薄零件同一位置点的两侧诱导产生空泡，继而产生冲击波和水射流，实现对超薄零件的两侧表面的同时清洗，抵消冲击波产生的应力变形；

D.设置控制器，通过调节第一振镜及第二振镜的摆动位置，实现对超薄零件同一位置点两侧加工激光束从下端到上端的路径扫描，然后工作台在所述超薄零件所在的平面上发生一个位移的平面移动，超薄零件两侧的加工激光束由上端扫描至下端，工作台在所述超薄零件所在的平面上继续发生一个位移的平面移动，如此循环，直至全部完成对超薄零件两侧面的激光加工，激光器（101）和控制器（106）停止工作。

5.根据权利要求4所述的一种利用权利要求3所述的激光诱导空泡双面清洗超薄零件的装置进行激光清洗的方法，其特征在于，工作台在所述超薄零件所在的平面上发生一个位移的平面移动的距离为0.5mm。