[发明专利]实时分析STDF检测数据的方法

说明书

本发明提供一种实时分析STDF检测数据的方法，包括：实时数据采集步骤和实时分析步骤，实时数据采集步骤以固定频率对STDF进行采集和打包。实时分析步骤对收到的数据包根据规则进行拆解合并，得到单条的完整数据供分析。本发明的实时分析STDF检测数据的方法，对STDF文件实时分析，以帮助及时快速发现测试过程中的异常，将生产损失降到最低。

技术领域

本发明涉及一种实时分析STDF检测数据的方法，属于半导体测试领域。

背景技术

在半导体CP测试行业，测试机台测试结果大都以STDF(标准测试数据格式)格式保存。现有的系统都是在晶圆测试完成后，将STDF文件导入系统进行分析，这种分析手段太滞后，分析的结果只能对后续的圆晶测试起到一个参考矫正的作用，而且因为接下来的圆晶测试过程中也没法实时分析，导致校准是否准确也无法及时验证。

发明内容

本发明的目的在于提供一种实时分析STDF检测数据的方法，对STDF文件实时分析，及时快速发现测试过程中的异常，将生产损失降到最低。

本发明采用了如下技术方案：

一种实时分析STDF检测数据的方法，其特征在于，包括：

实时数据采集步骤和实时分析步骤，

实时数据采集步骤如下：

步骤一：监听是否有新的STDF文件产生；

步骤二：依固定频率检查文件增加的大小是否到达单次采集数据大小设定；

步骤三：如果STDF文件增长≥单次采集数据大小N，截取此N长度的STDF文件，并按预先定义的格式打包成数据包发送，数据包的Message Index在原来的基础上累加1；

步骤四：记录当前文件截取的结束位置，记录当前的Message Index；

步骤五：重复步骤二至步骤四，

步骤六：重复步骤一。

实时分析步骤如下：

步骤七：接收到新的STDF数据包后，按照步骤三中预先定义的格式拆包，

步骤八：校验收到的数据是否完整和连续，

步骤九：首先建立2个byte队列，一个用来存Header，长度为4，命名为HeaderQueue；一个用来存储组成一条完整Record后剩余部分的Record，长度不固定，命名为RecordBufferQueue，判断HeaderQueue是否已有长度为4的Header,若是，则进入步骤十二，若否，则进入步骤十，

步骤十：从数据包中截取长度为4的Header，加入HeaderQueue中，

步骤十一：在数据包中标记已经截取的数据坐标，然后进入步骤九，再次进行判断HeaderQueue是否已有长度为4的Header的步骤,

步骤十二：初始化一个STDF Header，

步骤十三：判断Header数据是否有效，若是，则进入步骤十四，若否，进入步骤十五，

步骤十四：得到STDF记录的剩余部分：L(record)，然后进入步骤十六，

步骤十五：丢掉无效数据，

步骤十六：比较L(record)和L(RecordBufferQueue)+[L(MSG)-L(header)],若结果为大于，则进入步骤十七，若结果为等于，则进入步骤十八，若结果为小于，则进入步骤十九，

其中,L(record)是数据包中一条完整的记录去掉Header部分剩余的长度，