[发明专利]一种无电流多分区可拆卸感应装置

说明书

本发明公开了一种无电流多分区可拆卸感应装置，包括气路连接器与研磨头，研磨头包括研磨头上体与研磨头下体，研磨头下体为感应区域体，其为一体化的密封橡胶结构制成，其内部分布有若干个感应区间；研磨头上体设置于研磨头下体上，其与研磨头下体镶嵌叠加并构成封闭空间，研磨头上体内部开设有多个内部孔道；气路连接器设置于研磨头上体上，其上端接入外部进气设备，其下端设置有多个对应研磨头上体内部孔道的气孔，其与研磨头上体内部的孔道构成气孔通道，气孔通道连通研磨头下体上设置的感应区间。本发明采用区间分化处理，无涡电流产生，区域化更细致，气路连接器可以拆卸更换，极大程度上提高了本发明在使用时的方便程度。

技术领域

本发明涉及芯片制造加工领域，具体为一种无电流多分区可拆卸感应装置。

背景技术

在芯片制造加工技术中需要使用到研磨头进行研磨，研磨头的材质是金属的，工作的环境又是在磁场中，很容易会产生涡电流，且研磨头本身也是一种压力感应装置，涡电流在金属块内流动时,释放出大量的焦耳热，不仅会对感应装置的敏感度造成影响，还会对产品表面的研磨液造成影响，导致后面研磨出的产品产生不良。现有的压力感应装置是一分区的，区域化分不明显，某个区域出现问题，整个区域同时调控，敏感度划分不够分明，即当某个区域敏感度一旦变化，整个感应区域都会有变化，导致原本不需要变化的区域出现变化，同时现有的连接器部分是无法拆卸且镶嵌为一体的，导致在使用不同设备时需要整体更换，非常浪费，导致成本增加。

发明内容

本发明的目的在于提供一种无电流多分区可拆卸感应装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种无电流多分区可拆卸感应装置，包括气路连接器与研磨头，所述研磨头包括研磨头上体与研磨头下体，研磨头下体为感应区域体，其为一体化的密封橡胶结构制成，其内部分布有若干个感应区间；所述研磨头上体设置于研磨头下体上，其与研磨头下体镶嵌叠加并构成封闭空间，研磨头上体内部开设有多个内部孔道；所述气路连接器设置于研磨头上体上，其上端接入外部进气设备，其下端设置有多个对应研磨头上体内部孔道的气孔，其与研磨头上体内部的孔道构成气孔通道，气孔通道连通研磨头下体上设置的感应区间。

优选的，研磨头上体上还设置有定位螺孔与定位孔，定位螺孔环绕内部孔道设置。

优选的，气路连接器上设置有与定位螺孔、定位孔相对应的定位螺丝与定位块，气路连接器通过定位螺丝、定位块与研磨头上体可拆卸连接。

优选的，研磨头上体与研磨头下体镶嵌叠加方式包括卡钩、焊接、锁扣、螺纹自锁中的任一方式进行层层叠加镶嵌。

优选的，研磨头上体为工业金属塑料加工制成，其可以达到原金属的效果，同时在磁场中不会产生涡电流。

优选的，感应区间为直角、弯角、斜角等各种复杂的腔体结构。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明研磨头包括研磨头上体与研磨头下体，研磨头下体为感应区域体，其为一体化的密封橡胶结构制成，其内部分布有若干个感应区间，研磨头上体采用工业金属塑料加工制成，研磨头下体采用分区间分化处理，无涡电流产生，区域化更细致，进一步提高了感应装置的灵敏度，同时气路连接器与通过定位螺丝、定位块与研磨头上体可拆卸连接，即气路连接器可以拆卸更换，极大程度上提高了本发明在使用时的方便程度，更节约了成本。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明气路连接器的结构示意图；

图3为本发明的研磨头上体与研磨头下体连接结构示意图；

图4为本发明的原理示意图。