[发明专利]基板搬送系统、电子设备的制造装置及电子设备的制造方法

说明书

本发明的基板搬送系统从第1装置向中继装置搬送基板，并从上述中继装置向第2装置搬送基板，上述中继装置包括：容器；基板载置台，该基板载置台设置在上述容器内，用于载置基板；以及用于使上述基板载置台移动的基板载置台驱动机构，上述基板搬送系统包括：上述中继装置；位置信息取得机构，该位置信息取得机构取得表示基板相对于上述容器的位置的基板位置信息；以及控制机构，该控制机构用于基于上述基板位置信息来控制上述基板载置台驱动机构。

技术领域

本发明涉及在装置内的基板的搬送。

背景技术

最近，作为平板显示装置，有机EL显示装置受到关注。有机EL显示装置是自发光显示器，响应速度、视场角、薄型化等特性优于液晶面板显示器，在以监视器、电视、智能手机为代表的各种便携式终端等中以较快的速度代替现有的液晶面板显示器。另外，其应用领域也扩大到汽车用显示器等中。

有机EL显示装置的元件具有在两个相对的电极(阴极电极、阳极电极)之间形成有引起发光的有机物层的基本构造。有机EL显示元件的有机物层和电极金属层通过在真空装置内经由形成有像素图案的掩模在基板上蒸镀蒸镀物质而制造，但为了在基板上的所希望的位置以所期望的图案蒸镀蒸镀物质，必须在对基板进行蒸镀之前高精度地调整掩模与基板的相对位置。

因此，在掩模和基板上形成标记(将其称为对准标记)，利用设置于成膜室的相机对这些对准标记进行拍摄，测定掩模与基板的相对的位置偏移。在掩模与基板的位置相对偏移的情况下，使其中一个相对地移动来调整相对的位置。

在粗对准和精细对准(fine alignment)这两个阶段执行基板与掩模间的对准。在粗对准中，进行基板与掩模之间的大致的位置调整。在精细对准中，高精度地调整基板与掩模的相对位置。

通常，在一个成膜机组中设置有多个成膜室，但由于在各成膜室中进行粗对准以及精细对准这两者，因此存在对准工序相当花费时间的问题。

另外，基板的位置偏移有时在成膜机组内的搬送机器人进行的基板的搬送中产生，但也多在成膜机组的上游侧的缓冲室(buffer chamber)、回旋室(turn chamber)及通路室(pass chamber)之间搬送基板及旋转的过程中发生，要求对其的适当的解决对策。

发明内容

发明所要解决的课题

本发明的目的在于提高基板的搬送精度。

用于解决课题的手段

本发明的第1方式的基板搬送系统从第1装置向中继装置搬送基板，并从上述中继装置向第2装置搬送基板，上述中继装置包括容器、设置在上述容器内的用于载置基板的基板载置台、和用于使上述基板载置台移动的基板载置台驱动机构，上述基板搬送系统包括上述中继装置、取得表示基板相对于上述容器的位置的基板位置信息的位置信息取得机构、和用于基于上述基板位置信息控制上述基板载置台驱动机构的控制机构。

本发明的第2方式的电子设备的制造装置包括第1装置、第2装置、用于将用于形成上述电子设备的基板从上述第1装置向上述第2装置搬送的基板搬送系统，上述基板搬送系统是本发明的第1方式的基板搬送系统，上述第2装置包括用于搬送上述基板的搬送室和与上述搬送室连接的多个成膜室。

本发明的第3方式的电子设备的制造装置包括具有第1搬送室的第1装置、具有第2搬送室和与上述第2搬送室连接的多个成膜室的第2装置、连接于上述第1装置和上述第2装置的中继装置，上述中继装置包括用于调整基板的位置的第1对准机构，上述多个成膜室的至少一个成膜室包括用于调整上述基板的位置的第2对准机构。

本发明的第4方式的电子设备制造方法使用本发明的第1方式的基板搬送系统来制造电子设备。

本发明的第5方式的电子设备的制造方法使用本发明的第3方式的电子设备的制造装置来制造电子设备。