[发明专利]光固化性组合物及电子部件的制造方法

权利要求书

1.一种光固化性组合物，其用于在涂布对象部件的表面上部分地且在多个部位进行涂布，

所述光固化性组合物包含：

环氧(甲基)丙烯酸酯，其具有2000以上的重均分子量且不具有羧基；

光固化性化合物，其具有至少一个烯属不饱和键且不具有2000以上的重均分子量，所述光固化性化合物不是具有2000以上的重均分子量的环氧(甲基)丙烯酸酯；

白色颜料；

光聚合引发剂，

所述环氧(甲基)丙烯酸酯的含量为5重量％以上且30重量％以下。

2.如权利要求1所述的光固化性组合物，其中，

所述白色颜料的含量为20重量％以上且70重量％以下。

3.如权利要求1或2所述的光固化性组合物，其具有至少一个(甲基)丙烯酰基且不具有2000以上的重均分子量，所述光固化性化合物不是具有2000以上的重均分子量的环氧(甲基)丙烯酸酯。

4.如权利要求1～3中任一项所述的光固化性组合物，其中，

所述环氧(甲基)丙烯酸酯的含量为10重量％以上且30重量％以下。

5.如权利要求1～4中任一项所述的光固化性组合物，其含有具有至少一个硫醇基的含硫醇基化合物。

6.如权利要求1～5中任一项所述的光固化性组合物，其中，

光固化性组合物中所含的具有2000以上的重均分子量的光固化性成分的总含量与所述光固化性化合物的含量之比为1.25以下。

7.如权利要求1～6中任一项所述的光固化性组合物，其是非显影型抗蚀剂光固化性组合物，

所述光固化性组合物通过照射光并发生固化后使用，且用于形成抗蚀剂膜而不进行显影。

8.如权利要求1～7中任一项所述的光固化性组合物，其在25℃及1rpm下的粘度η1与其在25℃及10rpm下的粘度η2之比为1.1以上且2.2以下。

9.如权利要求1～8中任一项所述的光固化性组合物，其不通过热固化剂的作用进行热固化而使用。

10.如权利要求1～9中任一项所述的光固化性组合物，其不含热固化性化合物，或者含有5重量％以下的热固化性化合物。

11.如权利要求1～10中任一项所述的光固化性组合物，其不用于与其它光固化性组合物一起形成多层的抗蚀剂膜。

12.一种电子部件的制造方法，其包括：

在电子部件主体的表面上部分地且在多个部位涂布权利要求1～11中任一项所述的光固化性组合物，从而形成组合物层的工序；

对所述组合物层照射光，形成固化物膜的工序，

所述制造方法不进行为形成所述固化物膜而使所述组合物层显影的操作。

13.如权利要求12所述的电子部件的制造方法，其中，

不进行为形成所述固化物膜而通过热固化剂的作用使所述组合物层热固化的操作。

14.如权利要求12或13所述的电子部件的制造方法，其中，

所述组合物层是抗蚀剂层，

所述固化物膜是抗蚀剂膜。