[发明专利]被加工物的加工装置

权利要求书

1.一种被加工物的加工装置，其在被加工物的正面上包覆树脂，该被加工物在由呈格子状形成的多条分割预定线划分的各区域内形成有器件，其中，

该被加工物的加工装置具有：

盒载置单元，其供具有多层搁板并且收纳多个被加工物的盒载置；

树脂包覆单元，其在被加工物的正面上包覆树脂；

树脂硬化单元，其对所包覆的该树脂施加外部刺激而使该树脂硬化；

树脂磨削单元，其利用旋转的磨削磨具对已硬化的该树脂的膜进行磨削而使该树脂平坦化；

搬送单元，其在所述盒载置单元、所述树脂包覆单元、所述树脂硬化单元和所述树脂磨削单元之间对被加工物进行搬送；以及

控制单元，其对装置整体进行控制，

在对磨削后的该树脂的膜的厚度进行了测量之后，该控制单元对测量出的与该树脂的膜的厚度相关的信息进行存储，并且在对被包覆了该树脂的膜的被加工物进行了清洗并通过该搬送单元将清洗后的被加工物搬入到该盒之后，通过该控制单元将所存储的被加工物的该树脂的膜的厚度与收纳了被加工物的该盒的该搁板的层号关联起来而进行存储，在该盒被搬送至对被加工物的背面进行磨削并将被加工物薄化至规定的厚度的后续工序的磨削装置时，该控制单元将所存储的该盒的该搁板的层号和收纳在该层号的该搁板上的被加工物的该树脂的膜的厚度值的信息传递给该磨削装置。

2.根据权利要求1所述的被加工物的加工装置，其特征在于，

所述树脂包覆单元通过旋涂法将树脂包覆在被加工物的正面上。