[发明专利]一种全自动离心均胶机

说明书

本发明适用于均胶机设备技术领域，提供了一种全自动离心均胶机，包括工作台，设置于工作台上用于进行基板的离心均胶工作的离心装置，用于给基板上胶的滴胶装置，离心装置设置有两组，分别呈镜像设置于工作台的左右两侧，离心装置包括设置于工作台上表面的工位槽，工位槽内设置有放置台，放置台底部连接有第一电机，工位槽上设置有离心盖，滴胶装置设置于两个离心装置中间，滴胶装置包括第二电机，第二电机的输出端向上设置并固定连接有旋转板，旋转板另一端设置有滴胶头，滴胶头上端通过第一软管连接有滴胶泵，第二电机后面还设置有用于控制离心装置和滴胶装置协调工作的控制器，控制器分别电连接第一电机、第二电机和滴胶泵。

技术领域

本发明属于均胶机设备技术领域，尤其涉及一种全自动离心均胶机。

背景技术

匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。该设备主要用于晶片涂基底胶，有自动、手动和半自动三种工作方式。送片盒中的晶片，自动送到承片台上，用真空吸附，在主轴电机的带动下旋转，转速100—9900转/分(±10转/分)，起动加速度可调。每道程序的持续时间，转速、加速度、烘烤温度、烘烤时间、预烘时间等工艺参数均可通过编程控制。

匀胶机有一个或多个滴胶系统，可涂不同品种的基底胶。滴胶的方式有晶片静止或旋转滴胶。随着晶片尺寸的增大，出现了多点滴胶或胶口移动式滴胶。胶膜厚度一般在500—1000nm，同一晶片和片与片间的误差小于±5nm。滴胶泵有波纹管式和薄膜式两种，并有流量计进行恒量控制。对涂过胶的晶片有上下刮边功能，去掉晶片正反面多余的基底胶。

现有技术中的均胶机，一次只能进行一个基片的均胶，无法连续工作，工作效率低，且机构复杂，操作麻烦。

发明内容

本发明提供一种全自动离心均胶机，旨在解决现有技术中的均胶机工作效率低的问题。

本发明是这样实现的，一种全自动离心均胶机，包括工作台，设置于工作台上用于进行基板的离心均胶工作的离心装置，用于给基板上胶的滴胶装置，离心装置设置有两组，分别呈镜像设置于工作台的左右两侧，离心装置包括设置于工作台上表面的工位槽，工位槽内设置有放置台，放置台底部连接有第一电机，工作台下方固定设置有固定夹板，第一电机固定设置于固定夹板上，工位槽上设置有离心盖，滴胶装置设置于两个离心装置中间，滴胶装置包括第二电机，第二电机垂直于工作台设置，第二电机的输出端向上设置并固定连接有旋转板，旋转板另一端设置有滴胶头，滴胶头上端通过第一软管连接有滴胶泵，滴胶泵设置于工作台右上角，第二电机后面还设置有用于控制离心装置和滴胶装置协调工作的控制器，控制器分别电连接第一电机、第二电机和滴胶泵。

更进一步地，工位槽为漏斗形，工位槽底部向上凸伸设置有导向柱，导向柱内设置有贯穿工位槽的通孔，第一电机的输出端通过通孔连接放置台，通孔上下两端设置有轴承，用于连接第一电机的输出轴，通过设置导向柱，使放置台设置于工位槽内固定可靠，旋转工作时减速晃动，通过设置轴承，减少第一电机输出端与导向柱的摩擦力。

更进一步地，第一电机和第二电机均为带刹车伺服电机，伺服电机为带刹车伺服电机，第二电机通过其抱闸装置进行紧急制动，并转换电机输出轴旋转方向从而带动旋转板转换旋转方向，便于将滴胶头在两个离心装置中切换。

更进一步地，放置台为方形，所放置台四边均设置有限位块，设置限位块，用于将基板放置到放置台内进行离心旋转时，不会被离心力甩离放置台，且嫩能更加便于安装基板。

更进一步地，离心盖设置于工位槽上端，离心罩圆心处设置有圆孔，放置台中间位于圆孔下端，离心罩位于圆孔两端设置有手柄，在离心设备进行工作时，先放好基板，再上胶水，上胶水的步骤是通过滴胶头，通过圆孔滴在基板中间，且手柄用于安装和卸下离心盖，用于拆装离心盖，便于安装和拆卸基板。