[发明专利]一种平面矩形磁控溅射阴极用角度可调型电磁线圈有效
| 申请号： | 201811565348.X | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109504946B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 杨拉毛草;周晖;郑军;马占吉;赵栋才;蒋钊 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 周蜜;仇蕾安 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 平面 矩形 磁控溅射 阴极 角度 可调 电磁 线圈 | ||
【权利要求书】：
1.一种平面矩形磁控溅射阴极用角度可调型电磁线圈，其特征在于：所述电磁线圈包括电磁线圈本体(1)、旋转轴(2)和旋转导轨；
所述旋转导轨包括导轨槽(3)和导轨座(4)；
在阴极(11)侧面上方左右两侧的真空腔体(8)壁上，分别通过安装座固定连接有左右两个旋转轴(2)，左右两个电磁线圈本体(1)在所述阴极(11)正后方对称并列安装，每个旋转轴(2)与一个电磁线圈本体(1)的后背部连接；所述阴极(11)正后方的真空腔体(8)顶部和底部上下对应设有旋转轨道的导轨座(4)，电磁线圈本体(1)顶部和底部设有与所述导轨座(4)对应的导轨槽(3)；所述导轨槽(3)和导轨座(4)位置相互配合形成上下两个导轨滑动连接，所述旋转导轨的轨迹均以旋转轴(2)为圆心；导轨槽(3)内安装有定位锁死螺母(5)，用来固定旋转角度；
在电磁线圈本体(1)顶部刻有电磁线圈角度线(6)，电磁线圈角度线(6)上方设置刻有腔体轨道角度线(7)的刻度盘，调节旋转角度时，通过旋转电磁线圈本体(1)使其的电磁线圈角度线(6)与腔体轨道角度线(7)的刻度值重合，以实现旋转角度的精确控制。
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