[发明专利]利用光声效应的装置和方法有效

专利信息
申请号: 201811565692.9 申请日: 2018-12-20
公开(公告)号: CN109946234B 公开(公告)日: 2021-05-25
发明(设计)人: M·埃贝尔;F·约斯特 申请(专利权)人: 英飞凌科技股份有限公司
主分类号: G01N21/17 分类号: G01N21/17
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 郑立柱;张鹏
地址: 德国诺伊*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 利用 效应 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种光声测量装置(100),包括:

光学宽带发射器(110),其被配置为发射多个波长的光辐射(111);

气体密封的第一测量单元(120),其填充有第一气体(121),其中所述第一气体(121)被配置为至少部分地吸收一个或多个预定波长的光辐射(111);

第一传声器(130),其布置在所述第一测量单元(120)中,并且被配置为根据所述光辐射(111)对所述第一气体的光声激励来生成第一传声器信号(131);

评估电路(140),被配置为基于所述第一传声器信号(131)生成第一测量信号(141),所述第一测量信号(141)表示所述光学宽带发射器(110)的所述一个或多个预定波长的发射强度;

气体密封的第二测量单元(220),其填充有第二气体(221),其中所述第二气体(221)被配置为吸收所述一个或多个预定波长的光辐射(111),并且其中所述第一气体(121)和所述第二气体(221)具有相同的化学成分;

填充有待检测气体(250)的第一区域(260),其布置在所述光学宽带发射器(110)和所述第二测量单元(220)之间,其中所述第一测量单元(120)布置在所述光学宽带发射器(110)和填充有待检测气体(250)的区域(260)之间;和

第二传声器(230),其布置在所述第二测量单元(220)中,并且被配置为根据所述光辐射(111)对所述第二气体(221)的光声激励来生成第二传声器信号(231),

其中所述评估电路(140)还被配置为基于所述第二传声器信号(231)和所述第一传声器信号(131)生成第二测量信号(142),所述第二测量信号(142)表示所述第一区域(260)中的所述待检测气体(250)的浓度。

2.根据权利要求1所述的光声测量装置,其中所述光辐射(111)包括红外辐射,并且其中所述第一气体(121)被配置为至少部分地吸收所述红外辐射。

3.根据权利要求1或2所述的光声测量装置,在所述光学宽带发射器(110)和所述第一测量单元(120)之间的空间中存在真空或气体环境,所述真空或气体环境不吸收所述一个或多个预定波长的光辐射(111)。

4.根据权利要求1或2所述的光声测量装置,其中所述光学宽带发射器(110)布置在所述第一测量单元(120)中。

5.根据权利要求1或2所述的光声测量装置,其中所述第一测量单元(120)中的所述第一气体(121)的浓度低于所述第二测量单元(220)中的所述第二气体(221)的浓度。

6.根据权利要求1或2所述的光声测量装置,还包括:

气体密封的第三测量单元(420),其填充有第三气体(421),其中所述第三气体(421)被配置为吸收所述一个或多个预定波长的光辐射(111);

填充有所述待检测气体(250)的第二区域(460),其布置在所述第二测量单元(220)和所述第三测量单元(420)之间;和

第三传声器(430),其布置在所述第三测量单元(420)中,并且被配置为根据所述光辐射(111)对所述第三气体(421)的光声激励来生成第三传声器信号(431),

其中所述评估电路(140)还被配置为基于所述第三传声器信号(431)和所述第二测量信号(142)生成第三测量信号(143),所述第三测量信号(143)表示所述第二测量单元(220)和所述第三测量单元(320)之间的距离。

7.根据权利要求6所述的光声测量装置,其中所述评估电路(140)还被配置为基于所述第二传声器信号(231)和所述第三测量信号(143)生成第四测量信号(144),所述第四测量信号(144)表示所述第二区域(460)中的所述待检测气体(250)的浓度。

8.根据权利要求6所述的光声测量装置,其中所述第一气体(121)和所述第三气体(421)具有相同的化学成分。

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