[发明专利]利用光声效应的装置和方法有效
申请号: | 201811565692.9 | 申请日: | 2018-12-20 |
公开(公告)号: | CN109946234B | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | M·埃贝尔;F·约斯特 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/17 | 分类号: | G01N21/17 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 郑立柱;张鹏 |
地址: | 德国诺伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 利用 效应 装置 方法 | ||
1.一种光声测量装置(100),包括:
光学宽带发射器(110),其被配置为发射多个波长的光辐射(111);
气体密封的第一测量单元(120),其填充有第一气体(121),其中所述第一气体(121)被配置为至少部分地吸收一个或多个预定波长的光辐射(111);
第一传声器(130),其布置在所述第一测量单元(120)中,并且被配置为根据所述光辐射(111)对所述第一气体的光声激励来生成第一传声器信号(131);
评估电路(140),被配置为基于所述第一传声器信号(131)生成第一测量信号(141),所述第一测量信号(141)表示所述光学宽带发射器(110)的所述一个或多个预定波长的发射强度;
气体密封的第二测量单元(220),其填充有第二气体(221),其中所述第二气体(221)被配置为吸收所述一个或多个预定波长的光辐射(111),并且其中所述第一气体(121)和所述第二气体(221)具有相同的化学成分;
填充有待检测气体(250)的第一区域(260),其布置在所述光学宽带发射器(110)和所述第二测量单元(220)之间,其中所述第一测量单元(120)布置在所述光学宽带发射器(110)和填充有待检测气体(250)的区域(260)之间;和
第二传声器(230),其布置在所述第二测量单元(220)中,并且被配置为根据所述光辐射(111)对所述第二气体(221)的光声激励来生成第二传声器信号(231),
其中所述评估电路(140)还被配置为基于所述第二传声器信号(231)和所述第一传声器信号(131)生成第二测量信号(142),所述第二测量信号(142)表示所述第一区域(260)中的所述待检测气体(250)的浓度。
2.根据权利要求1所述的光声测量装置,其中所述光辐射(111)包括红外辐射,并且其中所述第一气体(121)被配置为至少部分地吸收所述红外辐射。
3.根据权利要求1或2所述的光声测量装置,在所述光学宽带发射器(110)和所述第一测量单元(120)之间的空间中存在真空或气体环境,所述真空或气体环境不吸收所述一个或多个预定波长的光辐射(111)。
4.根据权利要求1或2所述的光声测量装置,其中所述光学宽带发射器(110)布置在所述第一测量单元(120)中。
5.根据权利要求1或2所述的光声测量装置,其中所述第一测量单元(120)中的所述第一气体(121)的浓度低于所述第二测量单元(220)中的所述第二气体(221)的浓度。
6.根据权利要求1或2所述的光声测量装置,还包括:
气体密封的第三测量单元(420),其填充有第三气体(421),其中所述第三气体(421)被配置为吸收所述一个或多个预定波长的光辐射(111);
填充有所述待检测气体(250)的第二区域(460),其布置在所述第二测量单元(220)和所述第三测量单元(420)之间;和
第三传声器(430),其布置在所述第三测量单元(420)中,并且被配置为根据所述光辐射(111)对所述第三气体(421)的光声激励来生成第三传声器信号(431),
其中所述评估电路(140)还被配置为基于所述第三传声器信号(431)和所述第二测量信号(142)生成第三测量信号(143),所述第三测量信号(143)表示所述第二测量单元(220)和所述第三测量单元(320)之间的距离。
7.根据权利要求6所述的光声测量装置,其中所述评估电路(140)还被配置为基于所述第二传声器信号(231)和所述第三测量信号(143)生成第四测量信号(144),所述第四测量信号(144)表示所述第二区域(460)中的所述待检测气体(250)的浓度。
8.根据权利要求6所述的光声测量装置,其中所述第一气体(121)和所述第三气体(421)具有相同的化学成分。
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