[发明专利]光微通道板的制备方法、制作设备及产品

权利要求书

1.一种光微通道板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(a)提供具有目标图案的掩膜版；

(b)提供基板，并在所述基板的表面涂覆感光材料，形成感光材料层；

(c)将所述掩膜版置于所述基板的上方，且使固化光源位于所述掩膜版的上方，并对所述感光材料层进行曝光；

(d)清洗上述步骤(c)中的进行曝光后的所述感光材料层，得到具有多个孔洞的第一光微通道板。

2.根据权利要求1所述的光微通道板的制备方法，其特征在于，以所述第一光微通道板作为新基板，并在所述新基板的表面涂覆感光材料，形成新感光材料层，并对所述新感光材料层进行曝光，然后清洗进行曝光后的所述新感光材料层，得到具有多个孔洞的第二光微通道板。

3.根据权利要求1所述的光微通道板的制备方法，其特征在于，所述掩膜版与所述基板相平行设置。

4.根据权利要求1所述的光微通道板的制备方法，其特征在于，所述掩膜版与所述基板呈夹角设置。

5.根据权利要求1-4任一项所述的光微通道板的制备方法，其特征在于，所述目标图案包括多个用于阻挡曝光用光线的掩膜图形区，多个所述掩膜图形区均匀且间隔设置；

优选的，所述掩膜图形区的形状为圆形。

6.根据权利要求1或2所述的光微通道板的制备方法，其特征在于，所述感光材料采用UV树脂。

7.根据权利要求1或2所述的光微通道板的制备方法，其特征在于，所述固化光源采用单色UV或激光。

8.一种用于实现权利要求1-7任一项所述的光微通道板的制备方法的制作设备，其特征在于，包括光源发生装置、涂布设备和移动平台；

所述光源发生装置的光线发出端位于掩膜版的正上方，所述移动平台上设置有基板；或者，所述移动平台的上表面用于涂覆感光材料。

9.根据权利要求8所述的制作设备，其特征在于，所述涂布设备包括涂布头、用于为所述涂布头提供原料的料罐和用于调节原料流量的输液泵；

优选的，所述涂布设备还包括过滤器，沿着原料的流动方向，所述料罐、所述输液泵、所述过滤器和所述涂布头通过管路依次连通。

10.一种利用权利要求1-7任一项所述的光微通道板的制备方法制备得到的产品或权利要求8或9所述的制作设备生产得到的产品。