[发明专利]一种高频超导腔用超高真空热处理炉

权利要求书

1.一种高频超导腔用超高真空热处理炉，其特征在于：包括机架，以及安装于机架上的离子泵，离子泵包括离子泵外壳，外壳内部具有一个加热内胆，加热内胆与外壳之间形成一个外真空腔室，加热内胆内部形成一个内真空腔室，外壳的顶部设置一个工件输送管，工件输送管与内真空腔室相通，工件自工件输送管输送至内真空腔室中，所述外真空腔室内安装有加热器以及热屏蔽层，所述热屏蔽层环绕着外真空腔室内壁一圈设置，加热器对加热内胆进行加热。

2.如权利要求1所述的高频超导腔用超高真空热处理炉，其特征在于：所述工件输送管内插入设置一根工件监测热电偶，工件监测热电偶向着底部的内真空腔室延伸。

3.如权利要求1所述的高频超导腔用超高真空热处理炉，其特征在于：所述外壳的外部设置有一个外腔室充气口以及一个外真空抽气口，所述外腔室充气口以及外真空抽气口均与内部的外真空腔室相通。

4.如权利要求1所述的高频超导腔用超高真空热处理炉，其特征在于：所述壳体的顶部正对着内部的内真空腔室设置有内腔室离子泵抽口以及内腔室分子泵抽口。

5.如权利要求4所述的高频超导腔用超高真空热处理炉，其特征在于：所述内腔室离子泵抽口的一侧安装电离规、微调阀，内腔室分子泵抽口顶部安装压阻规，一侧安装充气阀。

6.如权利要求1所述的高频超导腔用超高真空热处理炉，其特征在于：所述离子泵的外部设置电极。

7.如权利要求1所述的高频超导腔用超高真空热处理炉，其特征在于：所述加热器紧贴在加热内胆外侧面，通过加热器加热内胆。

8.如权利要求1所述的高频超导腔用超高真空热处理炉，其特征在于：所述外壳采用耐高温金属材料制成。