[发明专利]一种聚氧乙烯醚咪唑啉磺酸盐缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种聚氧乙烯醚咪唑啉磺酸盐缓蚀剂，其特征在于该缓蚀剂的结构式如下所示：

式中R代表十一烷基、4-十一碳烯基、十三烷基、十五烷基、十五碳烯基、8,11-十五碳二烯基、9-十六碳烯基、十七烷基、8-十七碳烯基、8,11-十七碳二烯基中的任意一种，n为5～15的整数。

2.一种权利要求1所述的聚氧乙烯醚咪唑啉磺酸盐缓蚀剂的制备方法，其特征在于：

(1)以二甲苯为溶剂，将式I所示的长碳链羧酸和二亚乙基三胺在140～200℃下回流反应4～6h，待脱出理论脱水量的85％以上时，旋转蒸发除去二甲苯，得到式II所示的1-胺乙基-2-长碳链基咪唑啉中间体；所述的长碳链羧酸为月桂酸、5-十二碳烯酸、肉豆蔻酸、棕榈酸、2-十六烯酸、9,12-十六碳二烯基、10-十七碳烯酸、硬脂酸、油酸、亚油酸中的任意一种；

(2)将上述步骤(1)得到的1-胺乙基-2-长碳链基咪唑啉中间体和碱在N₂保护下搅拌升温至100～120℃，然后通入环氧乙烷气体，继续恒温搅拌30～45min，停止通气，分离纯化，得到式III所示的聚氧乙烯醚咪唑啉；

(3)将上述步骤(2)得到的聚氧乙烯醚咪唑啉和3-氯-2-羟基丙磺酸钠加热至80～90℃，调节体系的pH为7.5～8.0，然后继续反应2～3h，得到式IV所示的聚氧乙烯醚咪唑啉磺酸盐缓蚀剂。

3.根据权利要求2所述的聚氧乙烯醚咪唑啉磺酸盐缓蚀剂的制备方法，其特征在于：步骤(1)中，所述长碳链羧酸与二亚乙基三胺的摩尔比为1:1.05～1:1.20。

4.根据权利要求2所述的聚氧乙烯醚咪唑啉磺酸盐缓蚀剂的制备方法，其特征在于：步骤(2)中，所述1-胺乙基-2-长碳链基咪唑啉中间体和环氧乙烷的摩尔比为1:5～1:16，碱的加量为环氧乙烷质量的0.3％～0.7％。

5.根据权利要求2或4所述的聚氧乙烯醚咪唑啉磺酸盐缓蚀剂的制备方法，其特征在于：所述的碱为NaOH、KOH中任意一种。

6.根据权利要求2所述的聚氧乙烯醚咪唑啉磺酸盐缓蚀剂的制备方法，其特征在于：步骤(3)中，所述聚氧乙烯醚咪唑啉和3-氯-2-羟基丙磺酸钠的摩尔比为1:1.5～1:2.0。

7.根据权利要求2所述的聚氧乙烯醚咪唑啉磺酸盐缓蚀剂的制备方法，其特征在于：步骤(3)中，用NaOH、KOH中任意一种调节体系的pH为7.5～8.0。